[发明专利]由大小均一的金属微珠组成的图形阵列无效

专利信息
申请号: 94193577.9 申请日: 1994-08-24
公开(公告)号: CN1132570A 公开(公告)日: 1996-10-02
发明(设计)人: D·C·科斯肯梅基;C·D·卡尔霍恩 申请(专利权)人: 美国3M公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 林蕴和
地址: 美国明*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 大小 均一 金属 组成 图形 阵列
【权利要求书】:

1.一种在衬底上形成微珠阵列的方法,其特征在于它包括如下步骤:

a)在衬底(12)上形成一金属层(14),所述的金属层是充分分隔为许多个金属区域(20),以便金属区域的珠化;

b)将所述的金属区域(14)加热至足以使金属区域(20)熔化,并使金属区域(20)珠化成不连续的微珠(22)的温度,由此在衬底上形成不连续的微珠(22)阵列。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,金属区域形成的方法是将所述的金属层淀积在所述的衬底上,然后将所述的金属层分隔成许多金属区域。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,将所述的金属层淀积到所述的衬底上时,已是充分分隔的金属区域。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的金属区域系由相交的两组平行槽(16)和(18)所界定,这样所述的金属区域表面为平行四边形。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的金属区域有三个侧面。

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的金属层厚度为0.2—10微米。

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的金属层厚度为0.2—2微米。

8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,它还包括使所述金属层与有效量助熔剂接触的步骤,以便于所述的金属区域珠化。

9.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述金属微珠的平均密度为600—6,000,000珠/平方厘米。

10.如权利要求9所述的方法,其特征在于,所述金属微珠的平均密度为40,000—6,000,000珠/平方厘米。

11.如权利要求10所述的方法,其特征在于,所述金属微珠的平均密度为80,000—6,000,000珠/平方厘米。

12.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的金属微珠阵列是有规阵列。

13.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的金属区域的表面积大小相同,这样形成的有规阵列中微珠的大小相同。

14.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的金属区域有2种或多种的均一尺寸。

15.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述微珠的直径为0.2—100微米。

16.如权利要求15所述的方法,其特征在于,所述微珠的直径为1—50微米。

17.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括将所述金属微珠阵列转移到另一个衬底上的步骤。

18.如权利要求17所述的方法,其特征在于,在所述的另一衬底上加有一层粘接剂层,金属微珠阵列是转移到所述粘接剂层中的。

19.一种衬底上的金属微珠阵列,其特征在于,它是排列紧密的金属微珠具有规阵列,所述金属微珠具有球形部分和平坦部分,金属微珠的平均密度为600—6,000,000珠/平方厘米。

20.如权利要求19所述的微珠阵列,其特征在于,所述微珠的平均密度为40,000—6,000,000珠/平方厘米。

21.如权利要求20所述的微珠阵列,其特征在于,所述微珠的平均密度为80,000—6,000,000珠/平方厘米。

22.如权利要求19所述的微珠阵列,其特征在于,在所述金属微珠上还涂有粘接剂层。

23.一种颗粒群,其特征在于,所述的颗粒是直径和形状有规分布的金属微珠(22),所述的形状部分是球形的(25),部分是平坦的,所述直径小于100微米。

24.如权利要求23所述的颗粒群,其特征在于,所述的微珠分散在液体中。

25.如权利要求24所述的颗粒群,其特征在于,所述液体是一粘接剂组合物。

26.如权利要求23所述的颗粒群,其特征在于,所述微珠的直径为0.2—100微米。

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