[实用新型]高亮度超衍射极限光束产生器

权利要求书

1、一种高亮度超衍射极限光束产生器，其特征是由光源和镀介质膜的位相片构成，所述位相片有内镀膜区(1)、透明区(2)。所述介质膜的厚度满足d=(2n+1)λ/2，式中λ为照明光源的工作波长，n=0，1，2，…，d为厚度。

2、根据权利要求1所述的光束产生器，其特征是透明区（2）外设有外镀膜区（3）。

3、根据权利要求1或2所述的光束产生器，其特征是所述镀膜区的形状为圆形或方形或一维长条形或二维长条形。

4、根据权利要求1所述的光束产生器，其特征是所述的内镀膜区（1）的尺寸小于照明光束的尺寸。

5、根据权利要求1所述的光束产生器，其特征是所述的透明区（2）的尺寸范围是0.1μm≤δ≤1cm。

6、根据权利要求2所述的光束产生器，其特征是所述的外镀膜区（3）的尺寸范围是0＜b≤10cm。

7、根据权利要求1所述的光束产生器，其特征是所述的照明光源（4）是各种基膜或多模激光器或其它相干性好的光源。

8、根据权利要求7所述的光束产生器，其特征是所述的照明光源（4）是各种激光器，光源输出面（5）与位相片（6）的之间距离L满足－20cm≤L≤20cm。

9、根据权利要求7所述的光束产生器，其特征是所述的照明光源是非激光相干光源，光源输出面（5）与位相片（6）之间的距离L满足0＜L≤20cm。