[实用新型]多蒸发离化源离子镀膜机

说明书

本实用新型涉及一种多蒸发离化源离子镀膜机，属于离子镀表面沉积技术。

离子镀表面沉积技术，可在各种建筑五金、工艺美术、钢木家具、工业洁具、钟表首饰、制笔、餐具以及建筑材料等物品表面上镀复仿金膜和各种装饰膜，保护膜层。

目前，现有技术中的离子镀膜机多为钟罩式，镀膜室取钟罩形，转动架和工件架装在镀膜室底座上。镀膜室底座内装真空系统，这种系统不宜制成大型设备。筒形侧开门结构，顶上装有上盖，上盖上装有转动架和工件架（如中国实用新型专利多弧离子镀膜机，申请号89200748.6）能降低镀膜机的高度，无需大型特殊厂房，但镀制大型工件时，侧门尺寸庞大，结构复杂，可靠性差。

本实用新型的目的是对镀膜机的结构进行改进，使其能用于镀制大型镀件，而且结构简单，可靠性好。

本实用新型设计的多蒸发离化源离子镀膜机由镀膜室、转动架、电机及减速机构、上盖、底座、蒸发离化源、加热器、工件架和真空排气系统组成。镀膜室为筒形结构，室壁与底座相焊接。电机及减速机构安装在上盖上，转动架与减速机构相联，工件架装在转动架上。蒸发离化源有多个，沿筒体轴线方向等距离布置在室壁四周。加热器焊封在底座上，真空排气系统与镀膜室相联。蒸发离化源由冷却水嘴、磁铁、磁铁调节螺杆、靶材、靶材调节螺母、电磁组件、法兰盘、冷却水套、弹簧组件、引弧丝和屏蔽套组成。其中的靶材调节螺母、磁铁调节螺杆、磁铁、冷却水套和靶材依次同轴安装。电磁组件安装在离化源体一侧，引弧丝一端置于靶材下方，另一端与弹簧组件相联，弹簧组件与法兰盘绝缘并相对固定，靶材的周围置有屏蔽套，离化蒸发源整体通过法兰盘固定在镀膜室壁上。

本实用新型设计的多蒸发离化源离子镀膜机可以采取上述的立式，也 可设计成卧式，其结构包括镀膜室、侧盖、底座、电机及减速机构、转动架、工件架、蒸发离化源、加热器、真空排气系统，密封门和小车。镀膜室为筒式结构，镀膜室卧于底座上。镀膜室的一侧为侧盖，另一侧为密封门。电机及减速系统安装在侧盖的中央，加热器焊封在侧盖的四周。转动架与电机减速机构相联。工件架置于小车上，小车通过导轨进出镀膜室，小车进入镀膜室时，支撑在镀膜室的导轨上，密封门关闭，小车上的工件架与转动架相联，电机减速机构带动工件架和转动架作自转或公转运动。真空排气系统与镀膜室相联。蒸发离化源有多个，沿筒体轴线方向距离布置在室壁的四周，其蒸发离化源的结构与立式相同。

在上述卧式或立式镀膜机中，蒸发离化源在镀膜室壁上的布置，最上和最下的离化源分别离上盖和底座的距离小于中间任意两源之间的距离。

附图说明：

图1是本实用新型设计的立式镀膜机的结构示意图。

图2是镀膜机中蒸发离化源的结构示意图。

图3是加热器焊封在底座或侧盖上的位置示意图。

图4是本实用新型设计的卧式镀膜机的结构示意图。

下面结合附图，详细介绍本实用新型的内容。

图1中，1是镀膜室，2是转动架，3是电机及减速机构，4是上盖，5是蒸发离化源，6和9是加热器，7是工件架，8是真空排气系统，10是镀膜室底座。

图2中，11是蒸发离化源的冷却水嘴，12是调节螺母，用以调节靶材位置，使其与屏蔽环保持在同一平面，以使电弧稳定。13是电磁组件，14是法兰盘，蒸发离化源通过该法兰盘固定在镀膜室壁上。15是磁铁调节螺杆，用以调节磁铁的位置，以保证靶材表面的磁场强度保持在要求范围之内。16是镀膜室壁，17是弹簧组件，18是磁铁，19是冷却水套，20是引弧丝，21是靶材，22是屏蔽套，23是屏蔽环，24是绝缘组件。

图3是加热器焊封的位置示意图。图中，9是加热器，10是立式镀膜机的底座或卧式镀膜机的侧盖，25是法兰盘，加热器通过法兰盘与底座或侧盖焊封。

图4是卧式镀膜机，其中，1是镀膜室壁，2是转动架，3是电机及减速机构，5是蒸发离化源，6是焊封在侧盖上的加热器，7是工件架，8是真空排气系统，10是镀膜室底座，26是密封门，27是侧盖，28是小车。