[发明专利]激光照射装置无效
| 申请号： | 95100146.9 | 申请日： | 1995-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1110006A | 公开（公告）日： | 1995-10-11 |
| 发明（设计）人： | 近藤昌树;前川茂树 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/324 | 分类号： | H01L21/324;B23K26/00;G02B26/00;G02F1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 孙敬国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 照射 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种激光照射装置，其特征在于，备有：激光源，搅乱激光源输出激光相位的相位搅乱手段，和将激光分解成小面积的光束，后叠加形成预定形状的光束的光束形成手段。
2、一种激光照射装置，它通过将激光源输出的激光形成预定形状的光束进行照射的光学系统和工件的相对移动，对工件的预定部分进行加工，其特征在于，在激光照射的光路上，设置有：搅乱激光相位的相位搅乱手段，将激光分解成小面积的光束后叠架形成预定形状光束的光束形成手段，和改变光束大小的光束尺寸可变手段。
3、如权利要求1或2所述的激光照射装置，其特征在于，所述相位搅乱手段可由搅乱相位的滤光片构成。
4、如权利要求1或2所述的激光照射装置，其特征在于，所述相位搅乱手段可由光纤构成。
5、如权利要求1或2所述的激光照射装置，其特征在于，所述相位搅乱手段可由搅乱相位的滤光片和光纤构成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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