[发明专利]端面反射型表面波谐振器及其制造方法

权利要求书

1.一种利用SH型表面波的端面反射型表面波谐振器，包括：

一个压电衬底；和

一个叉指型换能器，形成在所述压电衬底的主表面上，

一个槽，它被如此形成，以致从所述压电衬底的一个主表面延伸到另一个主表面，并垂直于表面波传播方向的方向，以便构成一个表面波在所述叉指型换能器的至少一边上反射的端面。

2.根据权利要求1的端面反射型表面波谐振器，其特征在于，

所述槽被如此形成，以致从所述压电衬底的一个主表面延伸到另一个主表面，并垂直于表面波传播方向的方向，以便构成一个表面波在所述叉指型换能器的两边上反射的端面。

3.根据权利要求1的端面反射型表面波谐振器，其特征在于，

所述槽被如此形成，以致从所述压电衬底的一个主表面延伸到另一个主表面，并垂直于表面波传播方向的方向，以便构成一个表面波在所述叉指型换能器的仅在一边上反射的端面。

4.根据权利要求1的端面反射型表面波谐振器，其特征在于，

所述端面反射型表面波谐振器的宽度(W)要比所述压电衬底(t)大2/3。

5.根据权利要求1的端面反射型表面波谐振器，其特征在于，

当λ取作表面波波长时，所述槽的深度在λ至7λ范围内。

6.一种端面反射型表面波谐振器的制造方法，包括步骤：

在压电板上形成一个叉指型换能器；

从压电板的一个主表面延伸到另一个主表面并垂直于表面波传播方向的方向，形成第一槽，以便构成一个表面波在表面波传播的方向在所述叉指型换能器的至少一边上反射的端面；和

分割在所述槽外面区域中的所述压电板，由此获得端面反射型的表面波谐振器。

7.根据叔利要求6的方法，其特征在于，

形成所述槽，使得从压电板的一个主表面延伸到另一个主表面并垂直于表面波传播方向的方向，以便构成一个表面波在所述叉指型换能器的两边上反射的端面。

8.根据权利要求6的方法，其特征在于，

形成所述槽，使得从压电板的一个主表面延伸到另一个主表面，并垂直于表面波传播方向的方向，以便构成一个表面波在所述叉指型换能器的仅一边上反射的端面。

9.根据权利要求6的方法，其特征在于，

形成所述端面反射型表面波谐振器，使得其宽度(W)要比所述压电板的厚度(t)大2/3。

10.根据权利要求6的方法，其特征在于，

形成所述槽，使得当λ取作表面波波长时，所述槽的深度是在λ至7λ的范围中。

11.根据权利要求6的方法，其特征在于，

分割在所述槽外边的区域中的所述压电板，使得从在所述槽外边的区域中所述压电板的一个主表面延伸到另一个主表面形成一个第二槽并且分割在所述第二槽下面部分的压电板。

12.根据权利要求11的方法，其特征在于，

形成所述第二槽，使得它平行于所述第一槽。