[发明专利]改进的制造薄膜可致动反射镜阵列的方法

权利要求书

1、一种制造用于光学投影系统的M×N薄膜可致动反射镜阵列的方法，该方法包括如下步骤：

(a)提供一个具有一顶面的基底；

(b)在基底顶面上形成一个分离层；

(c)在分离层的顶上镀覆第一薄膜层，该第一薄膜层由导电和反光材料制成，能够在薄膜可致动反射镜中起到反射镜和偏压电极的作用；

(d)在第一薄膜层顶上形成一个薄膜电致移位层；

(e)对薄膜电致移位层进行热处理，使之发生相变；

(f)在薄膜电致移位层顶上镀覆由导电材料制成的第二薄膜层，它能够在薄膜可致动反射镜中起信号电极的作用；

(g)在第二薄膜层顶上形成一个由绝缘材料制成的弹性层；

(h)在弹性层的顶上形成一个薄膜待除层；

(i)通过去除待除层的一些部分，形成一个M×N空槽阵列，各空槽从待除层的顶部延伸到弹性层的顶部；

(j)在待除层的顶上，形成一个由多晶硅制成的支承层，其中，各空槽也填充有该多晶硅；

(k)形成一个M×N个导管的阵列，各导管从支承层的顶部延伸到第二薄膜层的顶部，各导管穿过各空槽，从而形成一多层结构；

(l)在多层结构的顶上形成一个M×N晶体管阵列，各晶体管通过一个导线图案与各导管电连接，从而形成一半成品的可致动反射镜结构；

(m)将一个有源矩阵与半成品的可致动反射镜结构连接；

(n)通过去除分离层将基底从半成品的可致动反射镜结构上分离，从而形成一可致动反射镜结构；

(o)将该可致动反射镜结构形成出一个M×N半成品可致动反射镜阵列的图案。

(p)在各半成品的可致动反射镜中去除薄膜待除层，从而形成M×N薄膜可致动反射镜阵列。

2、如权利要求1所述的方法，其中分离层由水溶性材料制成。

3、如权利要求1所述的方法，其中分离层通过采用溅射法或真空蒸镀法形成。

4、如权利要求1所述的方法，其中分离层通过采用湿蚀刻法去除。

5、如权利要求1所述的方法，其中薄膜电致移位层由压电或电致伸缩材料制成。

6、如权利要求5所述的方法，其中薄膜电致移位层通过采用溶胶一凝胶法或溅射法形成。

7、如权利要求1所述的方法，其中第一和第二薄膜层通过采用溅射法或真空蒸镀法形成。

8、如权利要求1所述的方法，其中弹性层通过采用溶胶一凝胶法、溅射法或CVD法形成。

9、如权利要求1所述的方法，其中如果薄膜待除层由金属制成，则采用溅射法形成；如果薄膜待除层由硅酸磷玻璃制成，则采用化学蒸镀法形成；如果薄膜待除层由多晶硅制成，则采用旋转涂覆法形成。

10、如权利要求1所述的方法，其中导管通过采用蚀刻法，继之以溅射法形成。

11、如权利要求1所述的方法，其中可致动反射镜结构通过采用光刻法或激光修剪法形成图案。

12、如权利要求1所述的方法，其中薄膜待除层通过采用蚀刻法去除。

13、如权利要求1所述的方法，其中各晶体管直接与各导管电连接。