[发明专利]铜及铜合金的浸蚀液无效
申请号: | 95105687.5 | 申请日: | 1995-06-28 |
公开(公告)号: | CN1078629C | 公开(公告)日: | 2002-01-30 |
发明(设计)人: | 中川登志子 | 申请(专利权)人: | 美克株式会社 |
主分类号: | C23F1/18 | 分类号: | C23F1/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 林蕴和 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铜合金 浸蚀 | ||
本发明涉及对铜表面和铜合金表面的除锈及糙化有用的浸蚀液。
在制造印刷电路板的过程中,用抗蚀、阻焊等树脂盖覆铜表面时,为提高密合性,通常对铜表面进行糙化。糙化的方法有抛光磨、擦刷等机械研磨和称作显微浸蚀的化学研磨。在处理具有线条图案的印刷电路板时,通常使用化学研磨。
以往,进行化学研磨时一般使用过硫酸盐系浸蚀液,但该浸蚀液存在着浸蚀速度慢、研磨后的表面易氧化的问题。因此,目前倾向于使用虽然昂贵、但能解决上述问题的硫酸·过氧化氢系浸蚀液。
然而,由于成本上有利,过硫酸盐系浸蚀液的需要仍较大,故迫切希望解决使用过硫酸盐系浸蚀液时存在的上述问题。
本发明系为了解决上述问题而进行的研究,涉及一种由含过硫酸盐的水溶液组成的浸蚀液,更具体地说,涉及一种特征在于含有选自咪唑、咪唑衍生物、吡啶衍生物、三嗪及三嗪衍生物中的至少一种的铜及铜合金的浸蚀液。
可用于本发明的过硫酸盐的例子有过硫酸铵、过硫酸钠、过硫酸钡、过硫酸锂等。过硫酸盐的浓度通常在50克/升以上,在过硫酸盐可溶解的范围内即可,以50~250克/升为优选。上述浓度小于50克/升时,不能获得充分的浸蚀效果,易造成表面残留氢氧化铜的状态。
为了提高浸蚀速度和防止浸蚀后金属表面生锈,在本发明的浸蚀液中添加选自咪唑、咪唑衍生物、吡啶衍生物、三嗪和三嗪衍生物中的至少一种。作为上述咪唑衍生物的具体例子,可举出2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-丙基咪唑、2-氨基咪唑、4-甲基咪唑、4-乙基咪唑、4-丙基咪唑等。作为上述吡啶衍生物的具体例子,可举出2-甲基吡啶、2-氨基吡啶、2-氨甲基吡啶、2-羧基吡啶、4-甲基吡啶、4-氨基吡啶、4-氨甲基吡啶等。作为上述三嗪衍生物的具体例子,可举出2,4-二氨基-6-甲基三嗪、2,4-二氨基-6-乙基三嗪等。上述咪唑等的浓度从浸蚀速度和溶液中的溶解性的角度出发,以0.1~10克/升为宜,0.5~10克/升更佳。
在本发明的浸蚀液中,为了抑制过硫酸盐的分解,也可添加氨基硫酸或脂族磺酸。可列举的上述脂族磺酸有甲磺酸、氨基磺酸、氨甲基磺酸、氨乙基磺酸等。考虑到溶解性,上述磺酸的浓度以1~100克/升为宜,1~50克/升更佳。
在本发明的浸蚀液中,还可添加其他各种添加剂,例如,用于减小液体表面张力的氟系、非离子型等类型的表面活性剂、用于稳定浸蚀速度的硫酸、磷酸等无机酸。
对本发明的浸蚀液的使用方法并无特别限制,可列举的有在被处理的铜或铜合金上喷雾的喷雾法、用浸渍输送带将铜或铜合金浸渍于浸蚀液中的方法等。
本发明的浸蚀液可广泛地用于铜、铜合金的化学研磨等。例如,在印刷电路板方面,可用于制造多层板时铜面黑化处理前的除锈和糙化、为提高抗蚀、阻焊的密合性而进行的糙化、为提高焊接性而进行的除锈及糙化等。尤其是在最近兴起的不需要用氟隆进行后处理的、使用活性弱的助焊剂的焊接时,铜的表面状态对焊接性影响很大,因此,可同时进行除锈、糙化和防锈的本发明的浸蚀液是有效的。而且,本发明的浸蚀液还可用于其他使用铜、铜合金的各种材料的除锈和糙化。
实施例1-8和比较例1-5
将表1所示成分溶解于水中,配成浸蚀液。接着,在所得的浸蚀液的25℃搅拌液中,将用于印刷电路板的两面铜面的层合板(FR-4)浸渍1分钟,测定浸蚀速度。再将浸蚀过的层合板在40℃和95%相对湿度的环境中放置24小时,肉眼观察生锈情况。结果见表1。在表1的显示生锈状态的栏中,○表示未见生锈、△表示仅见微量锈迹、×表示可见相当程度的锈迹。
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