[发明专利]柱形靶电弧汽相淀积装置及方法

权利要求书

1.一种柱形靶电弧汽相淀积装置，包括阳极壳体、阴极柱形靶及引弧丝，其特征在于阳极壳体中部所装的阴极柱形靶内固装有电磁线圈，电磁线圈贯穿整个靶长，并通以直流或交变电流，线圈前后分别装有前挡板与后挡板，前挡板和后挡板与阴极柱形靶壁之间设有间隙，电磁线圈内设有冷却入水管，阴极柱形靶顶部装冷却出水管，电磁线圈外围与阴极柱形靶壁之间为出水腔，电磁线圈外面涂有防水层。

2.根据权利要求1所述的柱形靶电弧汽相淀积装置，其特征是：阴极柱形靶内的整个线圈分成至少一组，每组线圈由三相以上构成，各相之间所通交变电流之间的位相差为特定值，使线圈整体在靶面上产生运动的电磁场。

3.根据权利要求1、2所述的柱形靶电弧汽相淀积装置，其特征是阴极柱形靶内的每组线圈分为三相，每相之间交变电流位相差为π。

4.根据权利要求1、2所述的柱形靶电弧汽相淀积装置，其特征是：阴极柱形靶内的每组线圈分为四相，每相之间交变电流位相差为

5.根据权利要求1、2所述的柱形靶电弧汽相淀积装置，其特征是：阴极柱形靶内的每组线圈分为六相，每相之间交变电流位相差为π。

6.根据权利要求1、2所述的柱形靶电弧汽相淀积装置，其特征是：阴极柱形靶内的每组线圈分为八相每相之间交变电流位相差为π。

7.一种柱形靶电弧汽相淀积方法，其特征在于阴极柱形靶内每组线圈中的相位在磁场中按其靶长进行周期性交换，致使产生往复运动的磁场。