[发明专利]一种使基板选择金属化的方法无效
申请号: | 95106677.3 | 申请日: | 1995-05-25 |
公开(公告)号: | CN1055818C | 公开(公告)日: | 2000-08-23 |
发明(设计)人: | 托马斯·H·鲍姆;卢斯·J·马蒂恩诺;辛迪·M·赖塞马;约瑟夫·E·瓦斯克 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H05K3/10 | 分类号: | H05K3/10;B05D3/06 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 杨国旭 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 使基板 选择 金属化 方法 | ||
1.一种使基板选择金属化的方法,包括下列步骤:
在所说的基板表面上形成一层溶液,所说的溶液组分包括含第一金属的化合物和光致反应草酸盐化合物;
使所说的溶液层的选定区暴光,因而在所说的基板的对应于所说的溶液层的选定区上形成所说的第一金属;
通过将所述层的已暴光和未暴光区域放到碱溶液中,从所说的基板上去掉所说的溶液层的未暴光区,同时无论在上述第一金属或所述层的未暴光区上实质上无金属淀积。
2.权利要求1的方法,其特征在于,还包括将所说的基板浸入第二金属镀池中,因而在所说的第一金属上淀积所说的第二金属。
3.权利要求1的方法,其特征在于,所说的含第一金属的化合物的一般化学式为MLmXn,其中的M代表一金属正离子,L是路易斯碱配合体,而x代表一负离子,m和n代表整数,1≤m≤4,1≤n≤3。
4.权利要求3的方法,其特征在于,M是Pd(2+1)。
5.权利要求3的方法,其特征在于,M是Pt(2+1)。
6.权利要求3的方法,其特征在于,M是Au(+1)。
7.权利要求3的方法,其特征在于,M是Au(3+)。
8.权利要求3的方法,其特征在于,M是Ag(1+)。
9.权利要求3的方法,其特征在于,L是含氮配合体。
10.权利要求9的方法,其特征在于,L是NH3。
11.权利要求9的方法,其特征在于,L是乙二胺。
12.权利要求9的方法,其特征在于,X是F(-1)。
13.权利要求3的方法,其特征在于,X是Cl(-1)。
14.权利要求3的方法,其特征在于,X是Br(-1)。
15.权利要求3的方法,其特征在于,X是(SO4)(-2)。
16.权利要求3的方法,其特征在于,X是(NO3)(-2)。
17.权利要求1的方法,其特征在于,所说的光致反应草酸盐化合物的一般化学式是YpM((C2O4)3)P,而p代表整数。
18.权利要求17的方法,其特征在于,Y是一碱金属离子。
19.权利要求17的方法,其特征在于,Y是K(K+1)。
20.权利要求17的方法,其特征在于,Y是Na(+1)。
21.权利要求17的方法,其特征在于,Y包括(NH4)(+1)。
22.权利要求17的方法,其特征在于,M是Fe(+3)。
23.权利要求17的方法,其特征在于,M是Ru(+3)。
24.权利要求1的方法,其特征在于,所说的基板的组分包括环氧树脂。
25.权利要求1的方法,其特征在于,所说的基板的组分包括含氟聚合物。
26.权利要求25的方法,其特征在于,所说的含氟聚合物是聚四氟乙烯。
27.权利要求25的方法,其特征在于,所说的含氟聚合物是四氟乙烯和六氟丙烯的共聚物。
28.权利要求25的方法,其特征在于,所说的含氟聚合物是四氟乙烯和全氟烷氧基乙烯醚的共聚物。
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