[发明专利]带改进型检测电路的微机械加速度计

权利要求书

1.一种微机械数字式加速度计，其特征在于，包括：

至少一个加速度敏感部件和一个检测电路，加速度敏感部件有：一块片状物、至少一个支承所述片状物的柔性铰链以及在所述片状物下的一个电极，每当响应于加速度力，所述片状物移离其正常位置(这时铰链不变形)时，所述铰链就变形，检测电路在电气上连至所述电极，用以检测所述片状物移离所述正常位置的移动；其中，当所述片状物偏转但不接触所述电极时，所述片状物向所述电极偏转，而所述检测电路检测所述片状物的这一位置改变。

2.如权利要求1的加速度计，其特征在于，所述加速度计部件是一扭转铰链器件，所述片状物被一铰链这样支承在相对二边，所述铰链可以扭转的方式变形以允许片状物转动，而所述片状物相对于旋转轴是不对称的。

3.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述加速度计部件是一悬臂铰链式器件，所述片状物由一铰链悬置在一端，从而铰链以弯曲的方式变形，允许所述片状物以与所述加速度方向相反的方向偏转。

4.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述加速度计部件是一挠性铰链式器件，所述片状物被位于其周边的铰链悬置，从而所述铰链发生变形允许所述片状物以与所述加速度度方向相反的方向偏转。

5.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述检测电路以光学方式检测所述片状物的位置改变。

6.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述检测电路检测所述片状物与所述电极之间的电容的改变。

7.如权利要求6所述的加速度计，其特征在于，当确定所述片状物完全偏转时，所述电容的改变为一预定值。

8.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述片状物只稍微偏转，并且加速度计还包括一反馈电路，该电路响应于微小的偏转而使所述片状物保持在其不偏转的位置上。

9.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，所述加速度计有多个部件，每个部件有相应的检测电路，而每个部件可以由于受到不同大小的加速度而完全偏转，所述加速度计还包含一编码器，用以产生指出加速度大小的数字输出。

10.一种微机械数字式扭转铰链式加速度计，其特征在于，包括：

至少一个加速度敏感部件和一检测电路，加速度敏感部件有一片状物、一柔性铰链和一第一电极，柔性铰链用以在所述片状物的相对侧支承所述片状物，并允许所述片状物移离所述铰链不变形的正常位置，所述铰链以扭转的方式变形，允许所述片状物响应加速度力而沿第一转动方向移离其正常位置，所述片状物相对于其转轴是不对称的，第一电极在所述片状物的所述侧之一的下方，检测电路与所述电极在电气上相连，用以检测所述片状物移离所述正常位置的移动状况。

11.如权利要求10所述的加速度计，其特征在于，当所述片状物偏转时，所述片状物与所述电极接触，并由所述检测电路检测这一接触。

12.如权利要求10所述的加速度计，其特征在于，当所述片状物偏转时，所述片状物向所述电极偏转但不接触所述电极，而由所述检测电路检测所述片状物位置的改变。

13.如权利要求12所述的加速度计，其特征在于，所述检测电路检测所述片状物与所述电极之间的电容的改变。

14.如权利要求12所述的加速度计，其特征在于，所述片状物只稍微偏转，并且加速度计还包括一反馈电路，该电路响应微小的偏转而使所述片状物保持在其不偏转的位置上。

15.如权利要求10所述的加速度计，其特征在于，所述加速度计有多个部件，每个部件有相应的检测电路，而每个部件可以因受到不同大小的加速度而完全偏转，所述加速度计还包含一编码器，用以产生指出加速度大小的数字输出。

16.如权利要求10所述的加速度计，其特征在于，所述片状物还可沿第二转动方向偏转，每个所述部件都有一第二电极，当所述片状物沿所述第二方向偏转时，第二电极可检测出所述片状物的偏转，而每个所述部件有一个与所述第二电极在电气上相连的第二检测器，用所述第二检测器来检测所述片状物沿所述第二方向的移动。