[发明专利]延伸的测量方法及非接触式激光延伸计

权利要求书

1.一种延伸的测量方法，对着试验样品表面、在要测定延伸的方向规定长度上照射激光、将该激光的被试验样品表面的散射光加以光电变换得出斑纹图案数据，其特征在于，同时以该数据中、从试验样品上上述延伸方向上相距规定距离的两个区域得到的数据分别作为观察点数据的初始设定值，用这两个观察点数据分别计算出试验样品上上述两个区域来的斑纹图案的移动量，每当各移动量的计算结果达到规定值，将作为观察点数据源的区域向上述移动方向进行移位、根据用该各观察点的移位量与各观察点数据算出的斑纹图案移动量、算出初始设定的两个区域间的延伸。

2.一种非接触式激光延伸计，具备：向试验样品表面的要测定延伸的方向规定长度上照射激光的照射光学系统；接受该激光的被试验样品散射的散射光、取得斑纹图案数据用的多通道散射光检测装置，其特征在于，还具备：以该散射光检测装置的输出中、与试验样品上延伸方向上相距规定距离的两个区域来的散射光有关的各数个通道份额的数据分别作为观察点数据进行初始设定的设定装置；使用该各观察点数据分别计算出试验样品的上述两个区域来的斑纹图案的移动量的移动量计算装置；每当由该移动量计算装置计算出的各移动量分别达到规定值，就使应该分别用作观察点数据源的通道朝斑纹图案的移动方向按该移动量移位的通道移位控制装置；用所述设定装置，根据由该通道移位控制装置决定的、与两个观察点数据有关的各通道移位量和所述移动量计算装置决定的、来自两区域的斑纹图案的移动量计算初始设定的两个区域之间延伸的延伸计算装置。

3.根据权利要求2所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，其散射光检测装置由多通道的图像传感器和用来使散射光成像于该图像传感器的受光面上的聚光透镜构成。

4.根据权利要求3所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，按照来自激光照射区域的散射光由排列于延伸测量方向的多组聚光透镜及图像传感器在空间上分区接收的方式构成。

5.根据权利要求2所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，照射光学系统由半导体激光器及将其输出光变成平行光束的准直管透镜和将经过该准直管透镜的激光扩展为一维状用的两个柱状透镜构成的光束扩展器构成。

6.根据权利要求5所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，按照设置多组照射光学系统，该各照射光学系统向试验样品的表面在整个要测定延伸的方向上的区域照射激光的方式构成。

7.根据权利要求6所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，试验样品表面被各照射光学系统的激光照射区域在要测量延伸的方向上分为两部分。

8.根据权利要求7所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，相对于被分为两部分的激光照射区域，分别设置散射光检测光学系统。

9.根据权利要求2所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，结构上具备拍摄试验样品的摄像机及根据其图像信号进行显示的显示器，同时能根据设定装置的设定内容和通道移位控制装置决定的通道移位量、将作为两个观察点数据源的两个区域的位置迭加于该显示器所显示的试验样品图像上每时刻进行显示。

10.根据权利要求3所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，其构成具备用不同于来自照射光学系统激光的波长的两个光点对试验样品照射的标识用光照射光学系统和改变该各光点在试验样品上的照射位置的驱动机构，同时，所述设定装置，能根据所述图像传感器的输出、检测出操作者用标识用光照射光学系统照射在试验样品上的两个光点的照射位置，将其检测结束分别作为该两观察点的初始位置设定。

11.根据权利要求10所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，所述驱动机构能根据所述通道移位控制装置决定的通道移位量使来自上述标识用光照射光学系统的两个光点在试验样品上的照射位置每时每刻变化。

12.根据权利要求11所述的非接触式激光延伸计，其特征在于，测定延伸时，能在图像传感器的前面插入用于有选择地只使与来自照射光学系统的测定用的激光波长相近的光射入图像传感器受光面的带通滤光器，以使从标识用光照射光学系统来的光点的反射光不对图像传感器的输出发生影响。