[发明专利]电磁力驱动振膜真空规

权利要求书

1、一种用于粗真空和低真空测量的电磁力驱动振膜真空规，由振膜，驱动装置和测量装置组成，其特征在于驱动装置和测量装置采用一组共用的磁极和线圈，振膜和线圈采用刚性连接，磁极与振膜的固定架相连接。

2、一种用于粗真空和低真测量的电磁力驱动振膜真空规，由振膜、驱动装置和测量装置组成，其特征在于驱动装置和测量装置其分别由一组磁场和线圈构成，驱动装置与测量装置位于振膜的两侧，振膜与两个线圈采用刚性连接，两个磁极与振膜的固定架连接。

3、根据权利要求1或2所述的电磁力驱动振膜真空规，其特征在于振膜采用多片式结构，振膜的片数为2～3片，多片振膜之间采用刚性连接。其间距为1～2Cm。

4、根据要利要求1或2的所述电磁力驱动振膜真空规，其特征在于振膜采用塑料膜或合金膜，膜厚为10～30μm。

5、一种用于粗真空和低真空测量的振膜真空规，其特征在于采用电磁力驱动振膜，通过测量激励电压V_i、激励电流I_i和输出电压V_o来表示压强P。

6、根据权利要求5所述的振膜真空规。其特征在于采用恒定激励电压V_i或激励电流I_i，测量电压V_o与压强P的刻度曲线指示压强，电源频率固定或跟踪在与压强有关的振膜谐振频率上。

7、根据权利要求5所述的振膜真空规，其特征在于采用恒定测量线圈电压V_o，测量驱动线圈V_i或I_i，通过V_i或I_i与P的刻度曲线指示压强。

8、根据权利要求5所述的振膜真空规，其特征在于采用固定电源频率，测量V_i或I_i与V_o的相位差指示压强。