[发明专利]非临界位相匹配的光波导材料及其制法和应用

权利要求书

1.一种非临界位相匹配的光波导材料，其特征是选用具有大非线性系数d₁₃，高折射率的Ba₂NaNb₅O₁₅(BNN)为外延薄膜材料而采用低折射率，低色散的KT：OPO₄为衬底材料，在光波导中以实现激光倍频的非临界位相匹配和激光倍频输出。

2.由权利要求1所述的光波导材料，其特征是两种材料的不同晶向的三种组态(001)BNN/(100)KTP，(100)BNN/(001)KTP，(100)BNN/(100)KTP。对应于不同组态有不同的实现非临界位相匹配的膜厚及相应的增大基频与倍频光空间交迭的技术方案与工艺。

3.根据要求1所述的制备BNN/KTP的方法，其特征是在KTP衬底上利用准分子激光淀积(PLD)，金属有机化学气相淀积(MOCVD)、分子束外延(MBE)，电子束蒸发(EBV)，磁控溅射(RFS)方法相应的的技术工艺。

4.由权利1所述的该光波导材料的应用，其特征是用于作激光倍频元器件或直接与半导体激光器的输出端相偶合制成一体化的小型可见光固体激光器。