[发明专利]表面波元件的制造方法无效
| 申请号： | 95115223.8 | 申请日： | 1995-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN1127955A | 公开（公告）日： | 1996-07-31 |
| 发明（设计）人： | 门田道雄;米田年麿 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H3/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴大建 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面波 元件 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.表面波元件的制造方法包括以下步骤：
在钟形罩内的表面波元件基片上形成铝电极膜；
向钟形罩内充入氮气或氧气，用氮气或氧气在已形成的铝电极膜上形成氮化膜或氧化膜。
2.根据权利要求1所述的表面波元件的制造方法，进一步包括使用光刻技术从铝电极膜上形成电极的步骤。
3.根据权利要求1所述的表面波元件的制造方法，进一步包括在电极之间切割表面波元件基片的步骤。
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