[发明专利]可关断晶闸管无效
申请号: | 95116824.X | 申请日: | 1995-09-01 |
公开(公告)号: | CN1040266C | 公开(公告)日: | 1998-10-14 |
发明(设计)人: | F·鲍尔;S·艾兴尔 | 申请(专利权)人: | 亚瑞亚.勃朗勃威力有限公司 |
主分类号: | H01L29/745 | 分类号: | H01L29/745 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杜有文,王忠忠 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可关断 晶闸管 | ||
1.可关断晶闸管包括:
a)在第一个主平面(1)和第二个主平面(2)之间有一定数量不同掺杂的半导体层(6-9);
b)在第二主平面(2)上有阳极电极(3)以及在第一主平面(1)上有阴极电极(4)和控制电极(5);其中
c)从第二个主平面(2)看,半导体层(6-9)包括一个P+掺杂的阳极发射区(6)、一个n掺杂的n-基区(7)和一个P掺杂的P-基区(8),其中阳极发射区(6)与阳极电极(3)电接触,P-基区(8)与控制电极(5)电接触,并且让n+掺杂的阴极发射区(9)进入P-基区(8)且阴极发射区(9)与阴极电极(4)电接触;
e)阳极发射区(6)夹杂着n+掺杂的阳极短路区(10),并且
f)在n-基区(7)与阳极发射区(6)之间设置一个n掺杂的抑止层(11),
其特征在于:
d)阳极发射区(6)制成透明发射区。
2.根据权利要求1所述的晶闸管,其特征在于:
抑止层(11)是扩散制成的,特别是深度为20μm至40μm和边缘浓度为7*1014cm-3。
3.根据权利要求1所述的晶闸管,其特征在于:
抑止层(11)是外延制成的,特别是深度为20μm至40μm。
4.根据权利要求3所述的晶闸管,其特征在于:
抑止层(11)具有均匀的掺杂分布,特别是其掺杂浓度为3*1014cm-3。
5.根据权利要求3所述晶闸管,其特征在于:
抑止层(11)的掺杂分布有两个浓度梯级,其中第一个、远离第二个主平面的浓度梯级(12)掺杂浓度较高,特别是其掺杂浓度为1015cm-3和深度为10μm,第二个、直接与第二主平面(2)相邻的梯级(13)掺杂浓度较低,特别是其掺杂浓度低于1014cm-3和深度为10μm。
6.根据上述权利要求之一所述晶闸管,其特征在于:
透明发射区(6)深度为1.2μm,掺杂浓度为1018cm-3。
7.根据上述权利要求之一所述的晶闸管,其特征在于:
阳极短路区(10)具有小的直径,特别是直径为5μm至10μm。
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