[发明专利]光栅位移测量装置

权利要求书

1.光栅位移测量装置具有光源、标尺光栅、指示光栅和光电接收装置，其光源位于标尺光栅一侧，照明光线依次经过标尺光栅和指示光栅，为光电接收装置所接受，其特征是所说的指示光栅其每条刻线是由多个精细的光学图形单元连接而成，每个光学图形单元含有透光部分，光强透过率为常数c，和不透光部分，光透过率接近为0。

2.按照权利要求1所说的光栅位移测量装置，其特征是所说的指示光栅各条刻线相互平行，其组成刻线的光学图形单元中的透光部分沿刻线方向的跨度Δ_y符合或者近似符合下面的表达式： Δ y = a i + b i sin ( 2 πx W + φ i ) ]]>其中，W--光栅常数；

i--光学图形单元的编号；

x--光栅平面内沿与刻线垂直的方向的坐标， x i - W 2 < x < x i + W 2 , ]]>xi为第i个光学图形单元中心在x方向

的坐标：a_i、b_i--与第i个光学图形单元形状大小有关的常数，对于不

    同的单元可以取不同的值；φ_i--第i个光学图形单元的初相角。

3.按照权利要求1所说的光栅位移测量装置，其特征是所说的指示光栅各条刻线相交于一点，其组成刻线的光学图形单元中的透光部分沿该刻线方向的跨度Δ_y符合或者近似符合下面的表达式： Δ r = a i + b i sin ( 2 πθ ω + φ i ) ]]>其中，ω--指示光栅相临刻线的角间距；

  i--光学图形单元的编号；

θ--以指示光栅的刻线交点为圆心沿圆周方向的角度坐标，

θ i - ω 2 < θ < θ i + ω 2 , ]]>θi为第i个图形单元中心的角度坐标：

a_i、b_i--与第i个光学图形单元形状大小有关的常数，对于不

        同的单元可以取不同的值；

φ_i--第i个光学图形单元的初相角。