[发明专利]集成电路处理装置的器件传送装置和器件再检查方法

说明书

本发明涉及一种IC处理装置的IC传送装置，该装置使用托盘形容器和杆状容器(盒)作为IC处理装置的IC存储容器。

此外，本发明还涉及一种IC试验处理装置中的器件再检查方法，所述IC试验处理装置从盒中供应器件，对已被判断为有缺陷器件进行再检查，并在盒或用户托盘中对再检查过的器件进行分类和存储。

通常有两类IC存储盒用于IC试验处理装置中，即托盘形盒和杆状盒。已有的IC处理系统专用于两种存储盒中的一种。

在现有技术中具有托盘形盒和杆状盒的IC传送装置的例子如图3和图4所示。

首先，使用托盘形盒的IC传送系统的传送部分包括用户托盘170，托盘供给部分172，供给托盘172，供给托盘传送机构174，托盘转换部分173，托盘转换传送机构175，试验托盘180，试验部分182、分类储缓冲台184，存储托盘传送机构186，以及托盘存储部分189。作为传送部分的上述构件简单说明如下。

用户托盘170是一种盘状容器，并具有一个许多压制的槽的阵列，用来在横向和纵向上存储器件。器件被存储在这些槽内。多个用户托盘170以多层的形式存放在托盘供给部分172中。

供给托盘传送机构174使用传送臂升高多层放置的用户托盘170的最上层的用户托盘170。然后传送机构传送托盘170，并把用户托盘放在托盘转换部分173上。

托盘转换传送机构175把器件从放在托盘转换部分173的用户托盘170中传送到试验托盘180。通常，传送机构175利用吸力升高一个或几个IC器件，并利用吸力部分175a把它们传送给试验托盘180。此后，IC器件被放在试验托盘180的预定的试验点上。这一步骤重复多次便完成全部IC器件的传送。

存储器件的试验托盘180被传送到试验部分182，在那里器件被加热/冷却到预设的温度，然后进行电气试验，并把存放在试验托盘180中的器件排出到分类缓冲台184中。

存储托盘传送机构186利用吸力部分186a升高试验托盘180(它位于分类缓冲台184中)上的器件，并把这些器件传送到用户托盘170的位置。在用户托盘170内，IC器件按试验结果被分成组，借以把器件存放在托盘170中。

托盘存储部分189按照试验结果标准排列多个用户托盘170，并存储由存储传送机构186放入的IC器件。重复进行上述操作，便在用户托盘170内完成全部IC器件的供给和分类/存储。

其次，图4中说明了具有杆状存储盒的IC传送装置的传送部分。如图4所示，这种IC传送装置包括盒150，盒供给部分152，供给盒传送机构154，试验部分156，存储盒传送机构158，以及盒存储部分160，图4中说明的IC处理装置是一种自重下落系统，在传送期间依靠重力使IC器件滑动并落下。传送操作概述如下：

盒150是一种杆状容器，以一排的形式存储IC器件，并根据IC器件的大小和形状(DIP、ZIP)而采取不同的构形。多个盒150被存储在盒供给部分152中。

供给盒传送机构154通过支掌盒供给部分152中盒150的一端并升高盒150的另一端使盒150转动来使其倾斜。由于倾斜角，IC器件借助于自身的重量从I轨道部分155a一个一个地分开，并被存储在ER轨道155b中。

ER轨道155b中被排成一排，从而存储多个IC器件，并且借助于横向移动ER轨道155b，ER轨道155b一个一个地存储来自上述的I轨道155a的IC器件。此后，ER轨道155b被横向移动并被如此定位，使得和呈多排排列的S轨道155C匹配。IC器件滑进S轨道155C中。

S轨道155C通过滑动一个一个地移动S轨道155C上的IC器件，并把IC器件供给试验部分156。此外，S轨道155C作为把器件加热/冷却到恒定温度的缓冲器，如果需要的话。

试验部分156接收来自S轨道155C的器件，并通过和器件的电接触进行电气试验，例如，故障/无故障检查和特性测量等。此后，IC器件被排放到存储盒传送机构158。

存储盒传送机构158接收来自试验部分156的器件，并根据故障/无故障的检查结果以及特性试验进行存放。这样，IC器件就根据排成多排的存储盒150n的试验结果分类被存放在盒150b中。为这一操作，分类器159接收器件并把其横向地移到相应的排成一排的盒150n中。通过使IC器件滑进倾斜的存储盒150b中使IC器件放入合适的盒中。