[发明专利]微波等离子吹管

权利要求书

1、一种微波等离子吹管，包括：

一个具有抽真空装置的真空容器；

一个同轴波导，包括一个内导体，一个外导体，该同轴波导的第一端部分与供给微波的微波供给装置相连接，及该同轴波导的第二端部分与真空容器相连接，由此将从微波供给装置供给的微波沿同轴波导的波导轴导入到真空容器中；及

一个气体供给装置，用于沿多个喷射轴将气体喷入真空容器：

其特征在于：至少多个喷射轴中的两个在第二端部位置中相对于波导轴处于扭转位置上，并且不在垂直于波导轴的平面中，及

在第二端部分附近，内导体直径与外导体直径之比沿波导轴自第一端部分向第二端部分减小。

2、根据权利要求1的微波等离子吹管，其特征在于：气体供给装置包括布置在第一端部分及第二端部分之间的一个介电板，并包括多个用于使气体沿多个喷射轴喷射到真空容器中的喷气孔。

3、根据权利要求2的微波等离子吹管，其特征在于：介电板具有耐热性。

4、根据权利要求3的微波等离子吹管，其特征在于：所有的多个喷射轴相对于微波轴处于扭转位置上，并且不在垂直于波导轴的平面中。

5、根据权利要求4的微波等离子吹管，其特征在于：在第二端部分附近的内导体的顶端部分被一个耐热介电板覆盖。

6、根据权利要求5的微波等离子吹管，其特征在于：介电板包含与气体中所含反应物质中成分相同的成分。

7、根据权利要求1的微波等离子吹管，其特征在于：该内导体至少包括一个喷气孔，用于在第二端部分中喷射气体。

8、根据权利要求7的微波等离子吹管，其特征在于：在第二端部分中内导体比外导体更多地伸入到真空容器中。

9、根据权利要求1的微波等离子吹管，其特征在于：内导体的第二端部分被分成多个分支。

10、根据权利要求1的微波等离子吹管，其特征在于：还包括一个梯度磁场发生装置，用于产生沿波导轴自第一端部分向第二端部分其强度逐渐减小的磁场。

11、根据权利要求10的微波等离子吹管，其特征在于：梯度磁场发生装置在真空容器中离开同轴波导第二端部分的点上所产生的磁场强度足够引起一种电子回旋加速共振(ECR)状态。

12、根据权利要求10的微波等离子吹管，其特征在于：还包括一个旋转磁场发生装置，用于在真空容器中产生一旋转磁场。

13、根据权利要求1的微波等离子吹管，其特征在于：包括多个同轴波导及多个气体供给装置。