[发明专利]氮化硅烧结体的制造方法无效
| 申请号： | 95118717.1 | 申请日： | 1995-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1071723C | 公开（公告）日： | 2001-09-26 |
| 发明（设计）人： | 吉村雅司;佐藤武;山口章;山川晃 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 徐汝巽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化 烧结 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1．一种制造氮化硅烧结体的方法，其特征在于氮化硅烧结体坯料在一个温度范围进行热处理，该温度范围是从坯料内摩擦达到峰值时的温度-150℃至该温度+150℃，其中热处理是通过将坯料在一种非还原性气氛中在上述温度范围内保持5-600分钟来进行的。
2．一种根据权利要求1的制造氮化硅烧结体的方法，其中所述氮化硅烧结体坯料是通过以下方法制得，该方法包括：
(1)将氮化硅粉末与粉状助烧剂混合，得到一种粉末混合物，
(2)将粉末混合物成型，得到素坯，
(3)在含氮气氛下烧结得到的素坯，制成烧结体，和
(4)将烧结体加工为预定尺寸，得到氮化硅烧结体坯料。
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