[发明专利]嗅敏检漏仪

说明书

本发明涉及一种嗅敏检漏仪，它具有一个作为测试气体检测器的质谱仪以及一个保持在吸气软管入口区的大气压与吸气软管出口区的压力之间压差的节流装置。

从US-A-5301537中已知了一个这样的检漏仪。它设有两个吸气软管59，它们通过一个阀54流入到一个共同的入流导管52中。所述的入流导管52连接在一个预真空泵40的流入口和高真空泵36的流入侧，它还装备了一个节流阀44。其中提及到了，吸气软管59具有一个节流效果。但是这显然不够来保持吸气软管59的入口区和高真空泵36的入口侧的压差，因为还必须附加设有节流阀44。

为使带有上述特征的检漏仪既有短的反应时间，又有高的检测灵敏度，建议采用这种嗅敏检漏仪，它带有一个作为检测器的质谱仪，以及一个在吸气软管的入口区的大气压与吸气软管的出口区的压力之间保持压力差的节流装置，所述的检漏仪作为带有一个在对流中由检测气体流过的高真空泵或高真空泵级的对流式检漏仪，并且所述的吸气软管直接连接在高真空泵或高真空泵级的出口侧，至少吸气软管的一段，最好是吸气软管的全部尺寸要这样设计，使只通过所述的吸气软管的节流作用就能够达到所要求的节流效果，并且所有流过所述的吸气软管的气流都到达高真空泵或高真空泵级的出口侧。

通过上述措施可以达到，总是有最大允许气流流过上述吸气软管。由于在氦-测试气体检漏时，感兴趣的泄漏量级为10-2mbar/L/S，因此可以保证从可能存在的泄漏点中溢出的全部检测气流能被吸入并到达检漏仪中。由此产生出一个高的检测灵敏度。另外，由于按照本发明确定的吸气软管中的气体流速较高，因而反应时间也短。当吸气软管在全长上直径相同，从而产生全部所需的节流作用时，上述优点将特别良好地实现。但是，为了解决所提出的任务，只要吸气软管的较大一段、例如其长度的50％或70％具有节流功能也就足够，而其余管段则基本上无阻力地将待测气体引导至检漏仪。

此外，从DE-B-2441124中已经知道有一种嗅敏检漏仪。其中，该文件作为已知前提的方案是，在吸气软管的入口区中设一个节流阀。按照该文件的权利要求1的嗅敏检漏仪具有一个节流阀，该阀直接安置在质谱仪检测器的前面。一部分到达节流阀的气流被一个预真空泵抽出。在所有已知的方案中不可避免会产生从可能存在的泄漏点溢出的一部分检测气体未能到达检漏仪的入口中这种现象。

在本发明的范围内，在校准方面还具有特殊的优点。对本发明的嗅敏检漏仪来说，为了进行校准，只要在高真空泵和预真空泵之间的连接管区中用一个检测泄漏点放入已知量的检测气体就已足够。这样，那种迄今为止在检漏仪中所必需的外部检测泄漏点就可省去。

下面将根据图1和2说明其它优点和细节。

在图1和2中示意性地用1表示检漏仪，用2表示其入口。该检漏仪包括质谱仪3，它与高真空泵4、最好是涡流分子泵的入口连接。高真空泵4通过一条连接管5与预真空泵6连接。

在检漏仪1的入口2处接有吸气软管7。吸气软管的两端用8(入口)和9(出口)表示。吸气软管的入口8被引向试验物11的有泄漏嫌疑的区域，泄漏点用12来表示。

在图1的检漏仪上，检漏仪1的入口2与连接管5连接。选用一种涡流分子泵13作为在对流中工作的高真空泵4。

在图2的检漏仪中，高真空泵4包括：位于高真空侧的级14(最好为涡流分子泵级)和位于预真空侧的级15(最好为分子泵级)。高真空泵4装有一个接头16，该接头16与高真空泵级14和15之间的区域连接。检漏仪1的入口2可以有选择地(借助未示出的阀)接在高真空泵4和预真空泵6之间的连接管5上，或者为了提高灵敏度而接在高真空泵4的入口16上。

吸气软管7的尺寸(长度、内径)要这样选择，使它能够在其入口区8的大气压与其出口区9的压力之间保持压力差。当检漏仪1的入口2接在高真空泵4和预真空泵6之间的连接管上时(见图1)，其出口区9的压力约为2mbar。当检漏仪1的入口2与高真空泵4的接头16连接时(见图2)，吸气软管7的出口区9的压力约为0.1bar。一条长度约为4米、内径约为0.4mm的吸气软管7就具有所要求的节流作用。在一条这样的吸气软管中，气体流量约为0.4mbar/L/S。当吸气软管7较长时，就必需采用较大的内径，而在吸气软管较短时，则要选用较小的内径。

另外，在高真空泵4和预真空泵6之间的连接管5上，通过一个阀17还连接着一个检测泄漏点18。由于吸气软管7的特殊性能，检漏仪的校准工作完全可以由内装的检测泄漏点18来完成，因而不再需要用一个外部检测泄漏点来校准检漏仪。