[发明专利]带真空泵的检漏器及其工作方法

权利要求书

1.带有一个设计为阻尼真空泵(11)的高真空泵和两个另外的针对大气压力工作的真空泵(21、31)的检漏器，其中该两个针对大气压力工作的真空泵中的第一个真空泵(21)与阻尼真空泵(11)的一个初真空接头(27)相连，而第二个针对大气压力工作的真空泵(31)经由一个带阀(29)的导管(28)直接与检漏器入口(1)连接，此外所述的两个真空泵(21、31)的进口侧通过一个导管(37)相互连接，所述的导管配备有一个调节阀(40)，其特征为：这两个另外的真空泵(21、31)设计为干式密封真空泵。

2.按照权利要求1所述之检漏器，其特征为：干式密封真空泵是螺杆泵(31)和/或隔膜泵(21)。

3.按照权利要求1所述之检漏器，其特征为：所述的第一个干式密封真空泵设计为隔膜泵(21)。

4.按照权利要求3所述之检漏器，其特征为：在隔膜泵(21)与阻尼真空泵(11)之间，有一个涡轮分子泵(19)。

5.按照权利要求4所述之检漏器，其特征为：为提高检测灵敏度，限制涡轮分子泵(19)的抽气能力。

6.按照权利要求3所述之检漏器，其特征为：一个吹洗气体输入管(22)与隔膜泵(21)的入口区连通。

7.按照权利要求6所述之检漏器，其特征为：在吹洗气体输入管(22)中装有一个节流器(23)。

8.按照权利要求1所述之检漏器，其特征为：所述的第二个干式密封真空泵设计为螺杆泵(31)。

9.按照权利要求8所述之检漏器，其特征为：一个吹洗气体输入管与螺杆泵(31)的入口区连通。

10.按照权利要求4所述之检漏器，其特征为：第二个干式密封真空泵设计为螺杆泵(31)。

11.带有一个作为阻尼真空泵(11)的高真空泵和两个另外的针对大气压力作用的干式密封真空泵(21、31)的检漏器的工作方法，其中，

两个干式密封真空泵(21，31)中的与阻尼真空泵(11)的初真空接头(27)相连的那个泵设计为隔膜泵(21)，并且

一个吹洗气体输入管(22)与隔膜泵(21)的入口区连通，在吹洗气体输入管(22)中装有一个节流器(23)，

其特征在于：在实施检漏测量时，经带有节流器(23)的吹洗气体输入管(22)持续地流入一股气流。

12.带有一个作为阻尼真空泵(11)的高真空泵和两个另外的针对大气压力作用的干式密封真空泵(21、31)的检漏器的工作方法，其中，

两个干式密封真空泵(21，31)中的与阻尼真空泵(11)的一个初真空接头(27)相连的那个泵设计为隔膜泵(21)，并且

在隔膜泵(21)与阻尼真空泵(11)之间，有一个涡轮分子泵(19)，

两个真空泵(19、31)的进口侧(18、30)通过一个导管(37)相互连接，所述的导管配备有一个调节阀(40)，

两个干式密封真空泵(21、31)中之第二个，即经由一个带阀(29)的导管(28)直接与检漏器入口(1)连接的那一个设计为螺杆泵(31)，

一个带有一阀(35)的吹洗气体输入管(34)进入螺杆泵(31)的入口区域，

其特征在于，只是当至少关闭阀(29、40)时，才经由带阀(35)的吹洗气体输入管(34)流入吹洗气体。