[发明专利]一种提高薄膜电容器粘着力并具有优良抗氧化性的镀锌膜的制造方法

权利要求书

1.一种在膜电容器上镀上具有优良抗氧化性的锌金属膜的方法，该方法包括以下几步：

(a)使用真空喷镀方法或蒸发方法用具有高结合能的金属处理聚合物的表面，用热蒸发方法使铝、锡或银做为具有单层或多层结构的种子层覆盖在聚合物膜表面。

(b)在步骤(a)中所得到的结构上沉积一层锌或锌—铝合金，以得到2到10Ω/m²的总表面电阻。

2.根据权利要求1的方法，该方法进一步包括以下步骤：在步骤(a)所得的结构上在沉积锌或锌—铝合金以前，沉积一层比锌具有更高氧化活性的金属组成的种子层，该类金属包括铝、银、钛，得到3.5到10Ω/m²的表面电阻，然后用连续操作在种子层上沉积铝。

3.一种在膜电容器上镀一层具有优良抗氧化性的锌金属膜的方法，包括以下几个步骤：

使用辉光放电在O₂、O₂+N₂+Ar气氛中，在一聚合物膜表面产生负氧离子基团。

在没有金属种子层的聚合物膜表面沉积锌作为电极金属，得到2到10Ω/m²的总表面电阻。

利用辉光放电或真空喷镀方法，在锌膜上形成一层保护锌的氧化膜。