[发明专利]具有至少一个应力释放端部的压电/电致伸缩膜元件

权利要求书

1.一种压电/电致伸缩膜元件，包括：

陶瓷基片(2，22)，它包括具有至少一个窗口(6，38)的基部(4，30)，以及作为所述基部的一个整体部分形成的并封闭每个所述至少一个窗口的膜部(10，26)；

膜状的压电/电致伸缩单元(18，24)，它包括下电极(12，40)，压电/电致伸缩层(14，42)和上电极(16，14)，它们按所说明的顺序利用膜形成方法形成在所述膜部的外表面上；

所述压电/电致伸缩单元(18，24)被如此置于所述膜部上，使得所述压电/电致伸缩单元的相对端面中的至少一个和所述每个窗口的周边的相对部分中的相应的一个朝向所述膜部的中心的方向分开；

应力释放部分(20)，由所述膜部的相对端部中的至少一个构成，它位于所述压电/电致伸缩单元的相对端面中的所述至少一个端面和相应的所述每个窗口的周边的相对部分中的至少一个之间，所述应力释放部分相对于包括所述基部(4，30)主表面的平面被弯曲，在所述基部上的所述每个窗口被所述膜部封闭。

2.如权利要求1的压电/电致伸缩膜元件，其特征在于所述每个窗口的所述周边的所述相对部沿平行于一直线的方向彼此相对，所述直线平行于所述基部(4，36)的所述主表面的平面，并通过每个窗口(6，38)的中心，沿所述直线每个所述窗口具有最短的尺寸，所述应力释放部分(20)的尺寸当沿所述方向测量时不大于所述每个窗口的最短尺寸的40％。

3.如权利要求1或2的压电/电致伸缩元件，其特征在于其中所述膜部(10，26)具有至少一个挠曲点。

4.如权利要求1—3任何一个的压电/电致伸缩膜元件，其特征在于所述应力释放部分包括和相应的所述每个窗口的周边的相对部分的一个相邻的端部，所述端部沿离开所述基部(4，30)主表面的所述平面的方向被弯曲而突出。

5.如权利要求1—4任何一个的压电/电致伸缩膜元件，其特征在于所述压电/电致伸缩单元(18，24)被如此放置，使得所述压电/电致伸缩单元的两个所述相对的端面与相应的所述每个窗口(6，38)的周边的相对部沿朝向所述膜部的中心方向离开，所述应力释放部分(20)被提供在位于所述压电/电致伸缩单元的相对端面和相应的所述每个窗口的周边的相对部之间的所述膜部的相对的端部的每个上。

6.如权利要求1—4任何一个的压电/电致伸缩膜元件，其中所述压电/电致伸缩单元(18，24)被如此设置，使得只有所述压电/电致伸缩单元的相对端面中的一个和所述相应的每个窗口(6，38)的周边的所述相对部中的一个沿朝向所述膜部中心的方向分开，所述应力释放部分(20)只被提供在位于所述压电/电致伸缩单元的相对端面的一个和相应的所述每个窗口的周边的所述相对部的一个之间的所述膜部的所述相对端部的一个上。

7.如权利要求1—6任何一个的压电/电致伸缩膜元件，其特征在于所述应力释放部分(20)具有沿离开所述每个窗口(6，38)的方向从所述平面突出的向上凸的形状。

8.如权利要求5的压电/电致伸缩膜元件，其特征在于所述提供在所述膜部(10，26)的每个相对端部的应力释放部分(20)具有沿离开所述每个窗口(6，38)从所述平面向上凸的形状，所述膜部包括一个中心部分，在其上形成有所述压电/电致伸缩单元(18，24)，所述中心部分具有沿朝向所述每个窗口(6，38)的方向从所述平面伸出的向下凹的形状。

9.如权利要求6的压电/电致伸缩膜元件，其特征在于其中所述仅提供在所述膜部(10，26)的相对端的一个上的应力释放部分(20)具有沿离开所述每个窗口(6，38)的方向从所述平面伸出的向上凸的形状，包括所述相对端部的另外的相对端并在其上形成有压电/电致伸缩单元的所述膜部的部分具有向着所述每个窗口(6，38)的方向从所述平面向下凹的形状。

10.如权利要求7—9任一个的压电/电致伸缩膜元件，其特征在于所述陶瓷基片包括膜板(8，26)，它包括所述的膜部(10，26)，并被如此形成在所述基部(4，30)的所述主要表面上，使得所述膜部封闭所述每个窗口(6，38)，所述应力释放部分(20)的向上凸的形状的高度不大于所述膜部(10，26)的两倍厚度，所述高度从远离所述基部的所述膜板的相对的主要表面中的一个进行测量。