[发明专利]以最小的污染和颗粒分配超高纯度气体的方法

权利要求书

1.在气体分配网中以最小污染与最少颗粒分配超高纯度气体的方法，它包括(a)用杂质含量低于1ppm的高纯度干燥惰性气体清洗上述分配网或其任何部分，(b)在低于5×10⁴帕斯卡的压力下抽空上述分配网或其任何部分；(c)用水脱附液体干燥剂液体干燥气体分配网或其任何部分，所述干燥剂选自丙酮二甲基酮缩醛DMP、2-2二氯丙烷DCP或2-2二溴丙烷DBP、其混合物或其任何等效物；(d)通过分配网或其任何部分分配超高纯度气体。

2.根据权利要求1的方法，还包括一个用湿洗剂湿洗气体分配网或其任何部分的步骤(b′)，该步骤在步骤(b)和(c)之间进行。

3.根据权利要求2的方法，其中湿洗步骤进行大约1分钟到大约1小时。

4.根据权利要求2的方法，采用基本上包含从未使用过的元件或部件的超高纯度气体分配网，其中上述湿洗步骤进行大约1分钟到大约2分钟。

5.根据权利要求2的方法，采用基本上包含至少使用过一次的元件或部件的超高纯度气体分配网，其中上述湿洗步骤进行大约5到30分钟。

6.根据权利要求1的方法，其中液体干燥步骤(c)进行大约1分钟到20分钟。

7.根据权利要求6的方法，采用基本上包含从未使用过的、内表面粗糙度Ra低于5×10^-6m的元件或部件的超高纯度气体分配网，其中所述液体干燥步骤进行大约1到大约2分钟。

8.根据权利要求6的方法，采用基本上包含至少使用过一次、其内表面粗糙度Ra高于5×10^-6m的元件或部件的超高纯度气体分配网，其中所述液体干燥步骤进行大约10分钟或更长时间。

9.根据权利要求2的方法，其中所述的湿洗剂为每升含粒状物少于1mg的液体。

10.根据权利要求2的方法，其中所述的湿洗剂为每升含粒状物少于10^-6g的液体。

11.根据权利要求9或10的方法，其中所述的湿洗剂选自去离子水、异丙醇、丙酮或其混合物。

12.根据权利要求2的方法，还包含在进行步骤(d)之前重复步骤(b′)和(c)。

13.根据权利要求1的方法，还包含在步骤(b)和(d)之间用惰性或还原性气体清洗气体分配网或其任何部分。

14.根据权利要求13的方法，其中所述的惰性或还原性气体选自氮、氩、氦或氢。

15.根据权利要求13或14的方法，其中所述的惰性或还原性气体在标准的温度和压力条件下每升所含挥发性杂质低于100ppb，颗粒数少于1个。

16.权利要求1的分配超高纯度气体的方法，其中所述的气体分配网包括至少一个气缸阀。

17.根据权利要求16的方法，其中所述的气缸阀在其内表面每次与大气接触之前和之后至少须经步骤(b′)和(c)处理。

18.根据权利要求1的方法，还包括在步骤(d)之后和将所述气体分配网或其任何部分暴露在大气中之前用高纯度惰性气体清洗气体分配网。

19.在超高纯度气体分配中使污染和颗粒减至最低程度的方法，它依次包括下列几个步骤(i)用湿洗剂湿洗气体分配网或其任何部分，(ii)用水脱附液体干燥剂液体干燥气体分配网或其任何部分，(iii)用高纯度惰性气体清洗气体分配网或其任何部分，(iv)通过分配网或其任何部分分配超高纯度气体，(v)用高纯度惰性气体清洗气体分配网或其任何部分，(vi)用湿洗剂湿洗气体分配网或其任何部分，以及(vii)用水脱附液体干燥剂液体干燥气体分配网或其任何部分。

20.权利要求19的在超高纯度气体分配中使污染和颗粒减至最低程度的方法，还包括在步骤(vii)之后两次用湿洗剂湿洗气体分配网或其任何部分，以及用水脱附液体干燥剂液体干燥气体分配网或其任何部分。