[发明专利]二氧化硅基隔离膜及其制作材料和该材料的生产工艺无效
申请号: | 95193887.8 | 申请日: | 1995-06-30 |
公开(公告)号: | CN1069675C | 公开(公告)日: | 2001-08-15 |
发明(设计)人: | 松泽纯 | 申请(专利权)人: | 日立化成工业株式会社 |
主分类号: | C09D183/00 | 分类号: | C09D183/00;H01L21/316;C09D185/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王以平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二氧化硅 隔离 及其 制作 材料 生产工艺 | ||
1.一种用来制作二氧化硅基涂覆的隔离膜的材料,其特征是由下列成份得到:
(a)烷氧基硅烷和/或其部分水解的产物,
(b)含氟的烷氧基硅烷,
(c)Ti的醇盐和/或其乙酰丙酮盐及Zr的醇盐和/或其乙酰丙酮盐的至少一种,以及
(d)有机溶剂,其中:
ⅰ)相对于100份重量的有机溶剂(d)而言,(a)和(b)的总含量为1-40份重量;
ⅱ)相对于1摩尔(a)而言,所加入的(b)的含量为0.1-10摩尔;
ⅲ)相对于总含量为1摩尔的(a)和(b)而言,所加入的(c)的含量为0.01-0.5摩尔。
2.一种生产用来制作权利要求1所述的二氧化硅基涂覆的隔离膜的材料的工艺,上述工艺包含在有机溶剂中混合烷氧基硅烷和含氟的烷氧基硅烷,随后加入Ti的醇盐和/或其乙酰丙酮盐及Zr的醇盐和/或其乙酰丙酮盐的至少一种。
3.一种生产用来制作权利要求1所述的二氧化硅基涂覆的隔离膜的材料的工艺,上述工艺包含在有机溶剂中合成烷氧基硅烷的部分水解产物以及在此产物中混合含氟的烷氧基硅烷,随后加入Ti的醇盐和/或其乙酰丙酮盐及Zr的醇盐和/或其乙酰丙酮盐的至少一种。
4.一种借助于在衬底上涂覆一种用来制作二氧化硅基涂覆的隔离膜随之以干燥然后加热固化的方法而制得的二氧化硅基隔离膜;上述材料是用来制作权利要求1所述的二氧化硅基涂覆的隔离膜的材料,或者是用来制作由权利要求2或3所述的工艺所生产的二氧化硅基涂覆的隔离膜的材料。
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