[发明专利]压力梯度化学蒸汽渗透和沉积的设备及工艺和制品无效
申请号: | 95196969.2 | 申请日: | 1995-11-16 |
公开(公告)号: | CN1171137A | 公开(公告)日: | 1998-01-21 |
发明(设计)人: | M·J·普迪;J·W·鲁多尔夫;L·D·伯克 | 申请(专利权)人: | B·F·谷德里奇公司 |
主分类号: | C23C16/04 | 分类号: | C23C16/04;C23C16/52;C23C16/44;C04B35/83 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 陈季壮 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力梯度 化学 蒸汽 渗透 沉积 设备 工艺 制品 | ||
1.一种CVI/CVD工艺,包括以下步骤:
以一个压力梯度CVI/CVD工艺在一个CVI/CVD炉内通过在一个多孔骨架内沉积一次粘结材料使上述多孔骨架部分致密,在此过程中上述多孔骨架的第一部分受到一个大于此多孔骨架第二部分的压力,并且上述第一部分比上述第二部分有一个较大的容积密度增加;以及
通过至少一个辅助致密工艺,在上述多孔骨架内沉积二次粘结材料而使上述多孔骨架继续致密,其中,上述第二部分比上述第一部分有一个较大的容积密度增加。
2.权利要求1的工艺,其中上述辅助致密工艺是一个常规CVI/CVD工艺。
3.权利要求1的工艺,其中上述辅助致密工艺是一个压力梯度CVI/CVD工艺,在此过程中上述第二部分受到一个大于上述第一部分的压力。
4.权利要求1的工艺,其中上述辅助致密工艺是一个树脂浸渍工艺,并且还包括该树脂的烧结步骤。
5.权利要求1的工艺,还包括在用至少一个辅助致密工艺继续致密上述多孔骨架步骤之前的在一个比上述压力梯度CVI/CVD工艺高的温度下将上述部分密实多孔骨架热处理的步骤。
6.权利要求1的工艺,其中上述多孔骨架是一个碳多孔骨架,以及上述压力梯度CVI/CVD工艺将一个碳粘结材料沉积在上述多孔骨架中。
7.权利要求1的工艺,其中上述多孔骨架是环形的,并具有两个通常平行的背向表面,上述第一部分包括上述两个背向背表面之一,上述第一部分包括上述两个背向表面的另一个。
8.权利要求1的工艺,其中多孔骨架是环形的,并具有一个内环形面和一个外环形面,上述第一部分包括该内环形面,上述第二部分包括该外环形面。
9.权利要求1的工艺,其中上述多孔骨架是环形的,并具有一个内环形面和一个环形外表面,上述第一部分包括该外环形面,上述第二部分包括该内环形面。
10.权利要求1的工艺,其中上述多孔骨架是环形的,并具有一个内环形面和一个外环形面,上述第一部分包括该内环形面,上述第二部分包括该外环形面。
11.权利要求1的工艺,其中上述多孔骨架是环形的,并有两个通常平行的背向表面,它们被一个内环形面和一个外环形面所界定,上述外环形面和上述内环形面相互隔开,并包围着该内环形面,上述第一部分包括上述内环形面和上述两个通常平行的背向面之一,上述第二部分包括上述外环向面和上述两个通常平行的背向面的另一个。
12.权利要求1的工艺,其中上述多孔骨架是环形的,并且有两个通常平行的背向表面,它们被一个内环形面和一个外环形面所界定,上述外环形面和上述内环形面相互隔开,并包围着该内环形面,上述第一部分包括上述内环形面和上述两个通常平行的背向面之一,上述第二部分包括上述外环向面和上述两个通常平行的背向面的另一个。
13.权利要求1的工艺,还包括在上述压力梯度CVI/CVD工艺之后和继续致密该上述多孔骨架的该步骤之前,在高于上述压力梯度CVI/CVD工艺的温度下的热处理上述多孔骨架的步骤。
14.权利要求1的工艺,其中热处理上述多孔骨架的该步骤紧随在上述压力梯度CVI/CVD工艺之后,不从上述CVI/CVD炉中移出上述多孔骨架。
15.一种CVI/CVD工艺,包括以下步骤:
在一个CVI/CVD炉内用一个压力梯度CVI/CVD工艺沉积一次碳粘结材料到环形纤维骨架中而使一组上述环形纤维骨架部分致密,在此过程中,每一个环形碳骨架的第一部分受到大于每个环形骨架第二部分的压力,并且上述第一部分有一个比上述第二部分大的容积密度增加;和
以至少一个辅助致密工艺沉积二次碳粘结材料到每一个环形纤维碳骨架中,而使该组环形纤维碳骨架继续致密,在此过程中上述第二部分有一个大于上述第一部分的容积密度增加。
16.权利要求15的工艺,其中每个环形纤维碳骨架有两个通常平行的反向平面,上述第一部分包括两个通常平行平面之一,上述第二部分包括两个通常平行平面中的另一个。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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