[实用新型]气敏元件测试箱无效
申请号: | 95200951.X | 申请日: | 1995-01-14 |
公开(公告)号: | CN2256097Y | 公开(公告)日: | 1997-06-11 |
发明(设计)人: | 王岚;李亦兵;何敬文;熙莹;王文涛;盛海平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春应用化学研究所 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人: | 曹桂珍 |
地址: | 130022 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 元件 测试 | ||
本实用新型属于半导体气敏元件的测试装置。
气敏元件的检测大多采用10L左右干燥器或类似的有机玻璃箱作为容器,由于容量小,一次只能测几十只元件,测试速度慢,而且密封差,很难长时间测试。因此不能满足大规模生产的需要。
本实用新型的目的是设计一种圆筒形状的测试箱,该测试箱不仅容量大,还带有密封胶条,抽真空保持不漏气,测试板与微机相连,带有配气口和气体浓度测试口,将测试数据通过微机处理,从而可以保证快速、准确检测气敏元件。
本实用新型的实施方案结合附图说明如下:附图1为气敏元件测试箱示意图,图中1为测试箱盖,以折叶与测试箱连接,箱盖内边缘的胶条2起密封封作用,U型支架3固定在箱体上部有折叶的一侧,箱体上部外边缘与箱盖配合有密封锣钉4,箱体的右侧中部有接口5,用于测试板与微机相连接,接口5的下侧为电源线的接口6,测试板7安放在箱体内下部,由测试板支架8支撑,在测试箱的线左侧上部有配气口11,用于抽真空,进空气,打入被测气体,在电风扇9的搅拌下,从测试箱左侧下部的测试口12将气体排出进行测试,排出的气体再经配气口11进入箱内,进行循环,压力由压力表10控制。
本实用新型结构简单,容量大密封效果好,测试气体浓度精确,同时将测试数据处理,打印一次完成,这就大大提高了工作效率,能满足工业生产规模测试的需要。
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