[实用新型]一种微型固态库仑滴定传感器

权利要求书

1、一种微型固态库仑滴定传感器，主要由工作芯片[7]和硅上盖板[8]组成，其特征在于：在工作芯片[7]上制作了氢离子敏场应效管[1]和[2]，及工作电极[4]、辅助电极[5]和[29]伪参比电极[3]、工作电极[4]紧包围氢离子敏场应管[1]的敏感膜[18]，工作电极[4]内侧距敏感膜[18]外缘2nm，一对辅助电极[5]和[29]对称分布于工作电极[4]两侧，[4]与[5]及[29]相距14nm，伪参比电极[3]包围氢离子敏场效应管[2]，两者形成复合参比管。氢离子敏场效应管[2]与辅助电极[5]平行，相距32nm，氢离子敏场效应管[2]距工作芯片[7]左侧边缘225nm，氢离子敏场效应管[1]距工作芯片[7]右侧边缘268nm，对准标志[11]距工作芯片[7]外侧边缘分别为20nm和165nm；硅上盖板[8]上有一长方形浅槽[28]和双通孔[9]、[10]，硅上盖板[8]与工作芯片[7]贴合后，方形浅槽[28]将形成库仑池[6]。

2、根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：方形库仑池将覆盖所有电极和器件，其尺寸为150×500×5nm³。

3、根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：双孔[9]和[10]尺寸均为10×10nm²，双孔[9]和[10]相距250nm。

4、根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：工作芯片[7]尺寸为740×640nm²。

5、根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：硅上盖板[8]尺寸为410×700nm²。