[实用新型]柱形靶电弧汽相淀积装置无效
| 申请号： | 95212359.2 | 申请日： | 1995-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN2221598Y | 公开（公告）日： | 1996-03-06 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒;刘维一;遇衍澄;魏耀存;王琰;李燕;冯宇奇 | 申请（专利权）人： | 北京长城钛金技术联合开发公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利事务所 | 代理人： | 付雷杰 |
| 地址： | 100080 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柱形靶 电弧 汽相淀积 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种柱形靶电弧汽相淀积装置，包括阳极壳体、阴极柱形靶及引弧丝，其特征在于阳极壳体中部所装的阴极柱形靶内固装有电磁线圈，电磁线圈贯穿整个靶长，并通以直流或交变电流，线圈前后分别装有前挡板与后挡板，前挡板和后挡板与阴极柱形靶壁之间设有间隙，电磁线圈内设有冷却入水管，阴极柱形靶顶部装冷却出水管，电磁线圈外围与阴极柱形靶壁之间为出水腔，电磁线圈外面涂有防水层。
2.根据权利要求1所述的柱形靶电弧汽相淀积装置，其特征是：阴极柱形靶内的整个线圈分成至少一组，每组线圈由能产生往复运动磁场的三相以上构成。
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