[实用新型]一种三室结构的真空液态源

权利要求书

1.本实用新型涉及一种三室结构的真空液态源，它包括内电组件[7]、外电组件[8]，其特征在于：

a.注入口[1]的一端和外室[2]的一端焊接，外室[2]的另一端与手动阀[3]的一端焊接，手动阀[3]的另一端与标准室[4]的一端焊接，标准室[4]的另一端与手动阀[6]的一端焊接，手动阀[6]的另一端与内室[5]的一端焊接，内室[5]的外表面上侧开孔处与异形过渡件[14]的一端焊接，异形过渡件[14]的另一端与阀门[12]的一端焊接，阀门[12]的另一端与非标准刀口小法兰[15]焊接，

b.外室[2]、标准室[4]、内室[5]在一条轴线上，该轴线与重力方向平行，并且该轴线与蒸汽发射器[10]的轴线保持非垂直状态，即非90℃配置，小于90℃，

c.非标准刀口小法兰[15]的一端与蒸汽发射器[10]的非标准刀口小法兰的一端连接，在它们之间装有一个非标准的小型镍或铜的金属材料制成的密封圈[13]，

d.加热块[9]由面对称的两块组成，加热块[9]的内部形状与内室[5]、手动阀[6]、部分的标准室[4]的外形相同，内室[5]、手动阀[6]、部分的标准室[4]精确嵌入加热块[9]内，对称的两块由螺钉连接。

2.根据权利要求1所述的一种三室结构的真空液态源，其特征在于：加热块[9]、加热筒[11]的两个管件由铝或铝合金制成。

3.根据权利要求1所述的一种三室结构的真空液态源，其特征在于：外室[2]、手动阀[3]、标准室[4]、内室[5]、手动阀[6]、异形过渡件[14]由不锈钢材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种三室结构的真空液态源，其特征在于：密封圈[13]由镍或铜的材料制成。