[发明专利]质量气流传感器及其所用的测量器

权利要求书

1.一种在一基片上形成的质量气流传感器的测量器，包括：

至少一对并列在气流方向上并在所述基片上形成一薄膜受热电阻形成部分的薄膜受热电阻；

至少一对在所述基片上形成一薄膜环境温度传感电阻形成部分的薄膜非受热环境温度传感电阻；以及

若干形成在支撑所述基片的一支撑部分上的薄膜电极接头，该支撑部与所述薄膜受热电阻形成部分和所述薄膜环境温度传感电阻形成部分隔离，这些电极接头用来从所述受热电阻和所述非受热环境温度传感电阻取出电信号，

其中，所述薄膜受热电阻形成部分和所述薄膜环境温度传感电阻形成部分前后错开地布置在气流方向上且左右错开地布置在与气流方向垂直的方向上，从而所述该对受热电阻和所述该对非受热电阻在与气流方向垂直的方向上不相重合；并且

所述支撑部分设置在所述基片的一端，而所述若干薄膜电极接头即形成在该端上。

2.按权利要求1所述的质量气流传感器的测量器，其特征在于，在气流方向上前后错开布置且在与气流方向垂直的方向上左右错开布置的所述薄膜受热电阻形成部分与所述薄膜非受热环境温度传感电阻形成部分之间有一个槽。

3.按权利要求2所述的质量气流传感器的测量器，其特征在于，所述槽伸展到所述支撑部分。

4.按权利要求1所述的质量气流传感器的测量器，其特征在于，在所述若干电极接头中有共同连接到一对所述受热电阻和所述非受热环境温度传感电阻上的共有电极接头以及共同连接到另一对所述受热电阻和所述非受热环境温度传感电阻上的另一共有电极接头。

5.按权利要求1所述的质量气流传感器的测量器，其特征在于，所述受热电阻和所述非受热环境温度传感电阻用相同材料在相同加工条件下用相同工艺制成。

6.按权利要求1所述的质量气流传感器的测量器，其特征在于，所述受热电阻的薄膜图形构作成在该图形的越靠近所述两个受热电阻之间的中心线的部位，其单位图形面积的电阻值越小。

7.按权利要求1所述的质量气流传感器的测量器，其特征在于，所述非受热环境温度传感电阻由在所述薄膜环境温度传感电阻形成部分上的一对互相套叠的薄膜图形构成，且这两图形在同一部位处具有几乎相同的局部形状。

8.按权利要求7所述的质量气流传感器的测量器，其特征在于，所述该对薄膜图形上的部位越远离所述支撑件，则该部位的单位面积的电阻值越小。

9.一种按权利要求1-8之一装有所述测量器的质量气流传感器。