[发明专利]静电型传感器装置中减少电容分量的回路

权利要求书

1.一种在静电型传感器装置中的减小电容分量的回路，其特征是：它具有一放大器，放大器将静电型传感器装置一侧的电压放大，同时它还具有一条通道，该通道从放大器的放大输出端，通过静电电容与静电型传感器装置的所述侧连接，这样，静电型传感器装置的电容分量可以减至最小。

2.权利要求1所述的静电型传感器装置中的减小电容分量回路，其中静电型传感器装置包括一压电振荡器，而且静电电容是使用与构成压电振荡器材料相同的材料实现的。

3.权利要求1所述的静电型传感器装置中的减小电容分量回路，其中放大器的放大倍数近似为静电型传感器装置的电容分量的(N＋1)倍，而静电电容近似为静电型传感器装置电容分量的1/N。

4.权利要求3所述的静电型传感器装置中的减小电容分量回路，其中静电型传感器装置包括一压电振荡器，而且静电电容通过使用与构成压电振荡器的同样材料来实现。

5.一种静电型传感器装置的驱动装置，它包括：

一条通道，驱动功率通过该通道供给至静电型传感器装置和一个减小电容分量的回路；在该回路中设有放大器，放大器将静电型传感器装置一侧的电压放大，同时该回路还设有一条通道，该通道从放大器的放大输出端，通过静电电容与静电型传感器装置的所述侧连接，从而使静电型传感器装置的电容分量减至最小。

其中，在减小电容分量回路中的放大器设置在这样一个位置上，即供给至静电型传感器装置的驱动功率，通过所述通道被放大。

6.权利要求5所述的静电型传感器装置的驱动装置，其中静电型传感器装置包括一压电振荡器，同时静电电容由使用与构成压电振荡器材料相同的材料实现。

7.权利要求5所述的静电型传感器装置的驱动装置，其中放大器的放大倍数近似地为静电型传感器装置电容分量的(N＋1)倍，而静电电容近似为静电型传感器装置电容分量的1/N。

8.权利要求5所述的静电型传感器装置的驱动装置，其中，静电型传感器装置包括一压电振荡器，而且静电电容通过使用与构成压电振荡器材料相同的材料来实现。

9.权利要求5所述的静电型传感器装置的驱动装置，还包括：电流相位检测装置，用于检测流过静电型传感器装置的电流相位；相位比较器，用于比较由所述电流相位检测装置检测的电流相位和供给至静电型传感器装置的驱动功率的电压相位；滤波器，它滤去所述相位比较器的高频分量；电压控制振荡器，它根据由所述滤波器进行的滤波操作之后得到的输出电压来可变控制振荡频率，从而可根据所述电压控制振荡器的振荡频率来供给驱动功率，并使静电型传感器装置在谐振频率处被驱动。

10.权利要求5所述的静电型传感器装置的驱动装置，其中，静电型传感器装置包括一压电振荡器，并且所述电压控制振荡器的振荡频率是这样可变控制的，即由所述相位比较器比较的，电流相位和电压相位之间的相位差为零。

11.权利要求5所述的静电型传感器装置的驱动装置，其中，通过它驱动功率被供给至静电型传感器装置的所述通道和包括放大器与静电电容的通道并联设在驱动功率的供给侧和静电型传感器装置之间，其中，电压保持装置设在驱动功率通过它供给至静电型传感器装置的所述通道中。

12.权利要求11所述的静电型传感器装置的驱动装置，还包括：电流相位检测装置，用于检测流过静电型传感器装置的电流相位；相位比较器，用于比较由所述电流相位检测装置检测的电流相位和供给至静电型传感器装置的驱动功率的电压相位；滤波器，它滤去所述相位比较器的高频分量；电压控制振荡器，它根据由所述滤波器在滤波操作后得到的输出电压可变控制振荡频率，从而可根据所述电压控制振荡器的振荡频率来供给驱动功率，使静电型传感器装置在谐振频率处被驱动。

13.权利要求12所述的静电型传感器装置的驱动装置，其中，静电型传感器装置包括一压电振荡器，同时所述电压控制振荡器的振荡频率是这样可变控制的，即由所述相位比较器比较铁电流相位电位相位间的相位差为零。