[发明专利]电子束源和使用它的成像设备的制造方法及激活处理方法

权利要求书

1．一种电子束源制造方法，该方法包括一个在一些电子发射装置(1002)中产生激活物质的激活步骤，办法是把那些电子发射装置划分成许多组，并依次对每一组施加电压。

2．根据权利要求1中所述的电子束源制造方法，其中对每一组所进行的电压的依次施加被重复多次。

3．根据权利要求1中所述的电子束源制造方法，其中对每一组施加的电压含有一组电压脉冲，而且其中在对一组施加脉冲的间隔期间，对其他组进行脉冲施加。

4．根据权利要求1中所述的电子束源制造方法，其中在每一组里，那些电子发射装置(1002)布置成带有一个公共接线(1003)，而且其中从该公共接线的两端开始进行电压的施加。

5．根据权利要求1中所述的电子束源制造方法，其中在每一组里，那里电子发射装置(1002)布置成带有一个公共接线(1003)，而且其中从该公共接线(1003)的一端开始进行电压的施加。

6．根据权利要求1中所述的电子束源制造方法，其中那些电子发射装置(1002)接线成一个带有一组行方向接线(1003)和一组列方向接线(1004)的矩阵，而且其中对那些电子发射装置的电压施加按每个行方向接线(1003)依次进行。

7．根据权利要求6中所述的电子束源制造方法，其中按每个行方向接线(1003)依次进行的电压施加被重复多次。

8．根据权利要求6中所述的电子束源制造方法，其中对每一个行方向接线(1003)所施加的电压含有一组电压脉冲，而且其中在对一个接线施加脉冲的间隔期间，对其他接线进行脉冲施加。

9．根据权利要求6中所述的电子束源制造方法，其中该电压施加从行方向接线(1003)的两端开始进行。

10．根据权利要求6中所述的电子束源制造方法，其中该电压施加从行方向接线(1003)的一端开始进行。

11．根据权利要求1中所述的电子束源制造方法，其中那些电子发射装置接线成一个带有一组行方向接线(1003)和一组列方向接线(1004)的矩阵，而且其中对那些电子发射装置的电压施加按每个列方向接线(1004)依次进行。

12．根据权利要求11中所述的电子束源制造方法，其中按每个列方向接线(1004)依次进行的电压施加被重复多次。

13．根据权利要求11中所述的电子束源制造方法，其中对每一个列方向接线(1004)所施加的电压含有一组电压脉冲，而且其中在对一个接线施加脉冲的间隔期间，对其他接线进行脉冲施加。

14．根据权利要求11中所述的电子束源制造方法，其中该电压施加从该列方向接线(1004)的一端开始进行。

15．根据权利要求1中所述的电子束源制造方法，其中所述激活步骤包括一个在那些电子发射装置(1002)中产生激活物质的第一激活步骤，办法是把那些电子发射装置(1002)划分成许多第一组并依次对每个第一组施加电压；以及一个在那些电子发射装置(1002)中产生激活物质的第二激活步骤，办法是把那些电子发射装置(1002)划分成许多第二组并依次对每个第二组施加电压。

16．根据权利要求15中所述的电子束源制造方法，其中在检测诸电子发射装置(1002)的发射电流的同时进行所述激活步骤。

17．根据权利要求15中所述的电子束源制造方法，其中当检测到诸电子发射装置(1002)的该发射电流的饱和后结束所述激活步骤。

18．根据权利要求15中所述的电子束源制造方法，其中每个第一组的电子发射装置(1002)数目大于每个第二组的该数目，而且其中该第一激活步骤在该第二激活步骤之前进行。

19．根据权利要求15中所述的电子束源制造方法，其中在该第一和第二激活步骤里，按每个组而依次进行的电压施加被重复多次。

20．根据权利要求15中所述的电子束源制造方法，其中在该第一和第二激活步骤里，对每个组所加的电压含有一组电压脉冲，而且其中在对一个组施加脉冲的间隔期间，对其他组进行脉冲施加。