[发明专利]γ射线辐照制备金属镍薄膜的方法无效
申请号: | 96101060.6 | 申请日: | 1996-01-30 |
公开(公告)号: | CN1049019C | 公开(公告)日: | 2000-02-02 |
发明(设计)人: | 陈祖耀;陈旻;朱玉瑞;钱逸泰 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | C23C18/14 | 分类号: | C23C18/14 |
代理公司: | 中国科学技术大学专利事务所 | 代理人: | 汪祥虬 |
地址: | 230026*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射线 辐照 制备 金属 薄膜 方法 | ||
本发明涉及金属镍薄膜制备方法和γ射线辐照应用技术。
现有制备金属镍薄膜的方法一般采用真空蒸发、真空溅射或电镀,但真空蒸发和真空溅射的设备要求较高,可使用的衬底尺寸有限,形状不能复杂;电镀虽然设备简单但要求衬底必须导电。为了用电镀法在绝缘的高聚物或玻璃衬底上生长镍薄膜,必须先采用化学镀方法在相应衬底上镀上一层导电涂层,然后再进行电镀,工艺麻烦,不能一步完成,且镀层质量难以保证。目前尚未见到将γ射线辐照用于金属成膜的报导。
本发明的目的是,提出一种采用γ射线辐照法、在含镍离子的液相环境中、在导电或不导电的衬底上一步完成生长金属镍薄膜的方法。
这种γ射线辐照制备金属镍薄膜的方法,其特征是在液相环境中用水合电子作还原剂,该方法包括以下步骤:
(1)配制如下组成的含镍盐水溶液(单位为摩尔/升):
醋酸镍 0.01-0.10
异丙醇 1-2
醋酸铵 0.05-0.10
氨 水 0.5-1.0
(2)把欲生长金属镍薄膜的衬底放入上述含镍水溶液中;
(3)将放置有衬底的含镍水溶液置于γ射线源中辐照,控制辐照剂量为3×104-5×105Gy。
由于含有镍离子的水溶液在受到γ射线辐照时,产生强还原剂即水合电子,它将镍离子逐级还原成镍原子,在生成金属镍团簇粒子的同时在衬底上沉积形成金属镍薄膜。采用本发明γ射线辐照制备金属镍薄膜的方法,不论衬底导电与否,均可一步生成金属镍薄膜,适用的衬底材料包括玻璃、高聚物、陶瓷、宝石、半导体硅、二氧化硅和金属等。本发明方法可在常温常压下操作,工艺简单易行,生成的金属镍薄膜厚度一般可控制在几百至几千埃范围内,根据需要,可通过调节溶液浓度和辐照剂量使膜厚增加,膜层表面光亮呈镜面状。本发明可适合于任何衬底形状在其表面成膜,特别是复杂形状的衬底。经X-射线衍射慢扫描测定,镍膜的晶粒度可在20--100nm之间变化。
以下给出本发明方法的几个实施例:
实施例1:
取3.5克醋酸镍、40毫升异丙醇、3.1克醋酸铵和38毫升浓氨水,配制成400毫升含镍水溶液。将尺寸为26mm×76mm×1mm双面洁净的载玻片作为衬底,置于上述含镍水溶液中,放置于7×104居里的60Co γ射线源近中心区(剂量率为70Gy/分)辐照,辐照剂量为7×104Gy。可获得均匀的镜面金属镍薄膜。
实施例2:
取7.0克醋酸镍、40毫升异丙醇、3.1克醋酸铵和38毫升浓氨水,配制成400毫升含镍水溶液。以尺寸为30mm×80mm×0.1mm表面洁净的聚乙烯带作为衬底,浸于上述含镍水溶液中,置于7×104居里的60Co γ射线源近中心区(剂量率为70Gy/分)辐照,辐照剂量为7×104Gy,可获得均匀的镜面金属镍薄膜。
实施例3:
取0.75克醋酸镍、40毫升异丙醇、3.1克醋酸铵和50毫升浓氨水,配制成400毫升含镍水溶液。以26mm×76mm×1mm双面洁净的载玻片作为衬底,放入上述含镍水溶液中,置于7×104居里的60Co γ射线源近中心区(剂量率为70Gy/分)辐照,辐照剂量为3×105Gy,可获得均匀的镜面金属镍薄膜。
实施例4:
取4.4克醋酸镍、40毫升异丙醇、1.9克醋酸铵和40毫升浓氨水配制成500毫升含镍水溶液。分别以直径为15mm经过抛光的白宝石和20mm×30mm×1.5mm的洁净不锈钢作衬底,放入上述含镍水溶液中,置于7×104居里的60Coγ射线源近中心区(剂量率为70Gy/分)辐照,辐照剂量为5×106Gy,可获得均匀的镜面金属镍薄膜。
实施例5:
取8.8克醋酸镍、40毫升异丙醇、3.8克醋酸铵和60毫升浓氨水配制成500毫升含镍水溶液。以直径为40mm的硅片作衬底,放入上述含镍水溶液中,置于7×104居里的60Co γ射线源近中心区(剂量率为70Gy/分)辐照,辐照剂量为5×105Gy,可获得均匀的镜面金属镍薄膜。
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