[发明专利]新型永磁控平面阴极电弧源在审
| 申请号： | 96101139.4 | 申请日： | 1996-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN1157335A | 公开（公告）日： | 1997-08-20 |
| 发明（设计）人： | 王福贞 | 申请（专利权）人： | 王福贞 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100027 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 永磁 平面 阴极 电弧 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型永磁控平面阴极电弧源，由矩形平板状靶材、阴极电弧源靶座、条形永磁体组成，其特征是在矩形大平面阴极电弧源靶材后面配置条形永磁体，永磁体可以排布呈直条形、曲线形或折线形，相邻永磁体的磁极性相反，按N-S交替布置，电弧斑呈直条形、曲线形或折线形，定时将永磁体移动一定距离，便可以使靶材均匀烧蚀。
2.根据权利要求1所述的新型永磁控平面阴极电弧源，其特征在于条形永磁体沿靶材长度方向布置成直条形，相邻永磁体的磁极性按N-S交替排列，电弧斑呈与靶材等长的直条形长斑。
3.根据权利要求1所述的新型永磁控平面阴极电弧源，其特征在于条形永磁体沿靶材长度方向布置成曲线形，相邻永磁体的磁极性按N-S交替排列，电弧斑呈曲线形的长斑。
4.根据权利要求1所述的新型永磁控平面阴极电弧源，其特征在于条形永磁体沿靶材长度方向布置成折线形，电弧斑呈折线形长斑。
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