[发明专利]液晶显示器件及其制造方法无效
申请号: | 96102587.5 | 申请日: | 1996-01-30 |
公开(公告)号: | CN1075201C | 公开(公告)日: | 2001-11-21 |
发明(设计)人: | 若木政利;鬼沢贤一;安藤正彦;金子寿辉;峯村哲郎;岡田智弘 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | G02F1/133 | 分类号: | G02F1/133;H01L21/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 张政权 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液晶显示 器件 及其 制造 方法 | ||
1.一种液晶显示器件,其特征在于包括:
一块衬底,其上带有多条漏极引线、在一个矩阵阵列中与多条所述漏极引线交叉的多条栅极引线、夹持在所述多条漏极引线与所述多条栅极引线之间的绝缘层、夹持在所述多条漏极引线与所述绝缘层之间的半导体层、位于这些交点附近的多个薄膜晶体管以及分别与所述薄膜晶体管连接的多个像素电极;
与所述衬底相对而放的一块衬底;以及
夹在所述衬底与相对衬底之间的液晶层,
所述漏极引线和栅极引线的每个端部的结构为在金属薄膜上覆盖透明的导电薄膜。
2.如权利要求1所述液晶显示器件,其特征在于,所述的多个像素电极都由透明的导电薄膜构成。
3.如权利要求2所述液晶显示器件,其特征在于,构成所述多条像素电极的透明导电薄膜和覆盖在多条所述漏极引线和多条所述栅极引线的每个端部上的透明导电薄膜由同一材料构成。
4.如权利要求1所述液晶显示器件,其特征在于,把绝缘层夹在所述多条漏极引线与所述多条栅极引线之间。
5.如权利要求1所述液晶显示器件,其特征在于,把半导体层夹在所述多条漏极引线与所述绝缘层之间。
6.如权利要求1所述液晶显示器件,其特征在于,所述多条漏极引线与所述多条栅极引线所选用的材料至少是铝(Al)、铬(Cr)、钼(Mo)、钽(Ta)、钛(Ti)、钨(W)、铌(Nb)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)中的一种。
7.如权利要求5所述液晶显示器件,其特征在于,所述半导体层由非晶硅构成。
8.如权利要求5所述液晶显示器件,其特征在于,所述半导体层由包含结晶相的硅构成。
9.一种制造液晶显示器件的方法,其特征在于包括以下步骤:
在衬底上形成源极电极和漏极引线;
在所述衬底、源极电极和漏极引线上依次形成半导体薄膜、绝缘薄膜和金属薄膜,以及随后采用同一掩模图案的对所述薄膜形成图案从而形成栅极引线;
在所述栅极引线上形成保护性绝缘薄膜和一层光刻胶;
利用所述光刻胶对所述保护性绝缘膜形成图案并随后在其上形成透明的导电薄膜;以及
在形成有所述光刻胶图案的区域上去除所述透明导电薄膜从而形成所述源极电极和漏极引线的端部以及像素电极。
10.一种制造液晶显示器件的方法,其特征在于包括以下步骤:
在衬底上形成源极电极和漏极引线;
在所述衬底、源极电极和漏极引线上依次形成半导体薄膜和第一绝缘薄膜,以及随后采用同一掩模图案对所述半导体薄膜和所述第一绝缘薄膜形成图案;
依次形成第二绝缘薄膜和金属薄膜以及随后采用同一掩模图案对这些薄膜形成图案从而形成栅极引线;
在所述栅极引线上形成保护性绝缘薄膜和光刻胶;
利用所述光刻胶对所述保护性绝缘膜形成图案并随后在其上形成透明的导电薄膜;以及
在形成有所述光刻胶图案的区域上去除所述透明导电薄膜从而形成所述源极电极和漏极引线的端部以及像素电极。
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