[发明专利]用于高密度信息图象显示装置的二维有机发光二极管阵列及其制造方法无效
申请号: | 96103156.5 | 申请日: | 1996-03-21 |
公开(公告)号: | CN1083160C | 公开(公告)日: | 2002-04-17 |
发明(设计)人: | 弗兰克·苏;S·Q·施;托马斯·B·哈维三世 | 申请(专利权)人: | 摩托罗拉公司 |
主分类号: | H01L25/075 | 分类号: | H01L25/075;H01L33/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 马浩 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 高密度 信息 图象 显示装置 二维 有机 发光二极管 阵列 及其 制造 方法 | ||
1.一种二维有机发光二极管阵列,其特征在于:
一个电绝缘的透光支撑基层;
多个位于支撑基层表面上且横向分隔开的透光导电带,以此定义多个第一电极;
一层位于透光导电带和透光支撑基层上表面上的介电质,通过该介电质层定义了多个腔,多个腔中的每一个腔与多个第一电极中的相关第一电极处于重叠关系;以及
一种电致发光介质,包括至少一层活性发射体材料和一层低功函数金属,位于在相关第一电极之上的多个腔中的每一个腔里面,以便与相关第一电极一起在多个腔中的每一个腔里面形成发光二极管;以及
一层密封于腔上面的环境稳定金属,并定义了多个与透光导电带正交且横向隔开的金属带,该横向隔开的金属带定义了每一发光二极管的第二电极。
2.根据权利要求1所述的二维有机发光二极管阵列,其特征还在于支撑基层、导电带和介电质中的每一个都包括一种有机聚合物或一种无机材料。
3.根据权利要求2的二维有机发光二极管阵列,其特征还在于支撑基层由玻璃制成。
4.根据权利要求2的二维有机发光二极管阵列,其特征还在于第一电极由铟锡氧化物形成。
5.根据权利要求2的二维有机发光二极管阵列,其特征还在于介电质由二氧化硅、氮化硅或氧化铝形成。
6.根据权利要求1的二维有机发光二极管阵列,其特征还在于以10μm至0.1μm范围内的厚度来形成介电质。
7.根据权利要求1的二维有机发光二极管阵列,其特征还在于每一腔定义成在介电层中形成的一个井,它具有长方形,正方形或圆形的开口形状以及基本垂直的侧壁。
8.根据权利要求1所述的二维有机发光二极管阵列,其特征还在于电致发光介质包括多种形式的有机、有机金属、聚合物材料或这些材料的组合,以此作为一层空穴输送材料、一层活性发射体材料和一层电子输送材料。
9.一种用于高密度信息图象显示装置的二维有机发光二极管阵列的制造方法,其特征在于:
提供一个具有平表面的电绝缘基层;
在该基层的平表面上淀积一层导电材料,
对导电材料层进行图案布线以形成多个定义了第一电极且横向分隔开的导电带;
在导电带表面和基层的平表面上淀积一层介电质;
在介电质层上淀积一层光致抗蚀剂;
使用定义了腔的遮光板来对光致抗蚀剂进行图案布线,以露出介电质的某些部分;
腐蚀掉介电质的露出部分以形成多个横向分开的腔,多个腔中的每一个腔位于所定义的第一电极中的一个相关电极之上,并在其中露出相关的第一电极;
剥离该光致抗蚀剂;
以这样一种连续顺序,即一层空穴输送材料、一层活性发射体、一层电子输送材料和一层低功函数金属,来在每一腔内淀积一种电致发光介质;
在介电质上淀积一层环境稳定金属,以密封住每一空穴;以及
将环境稳定金属层在与导电带正交的方向内图案布线成金属带,以便与多个腔中的每一个腔一起定义一个第二电极。
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