[发明专利]带有温度补偿层的薄膜致动的反射镜阵列

权利要求书

1、一种在光学投影系统中使用的M×N个薄膜致动的反射镜阵列，该阵列包括：

一个有源矩阵，该有源矩阵包括一块带有M×N个连接端的一个阵列和M×N个晶体管的一个阵列的基板，其中，每一个连接端与晶体管阵列中的一个对应晶体管电连接；

M×N个支持件的一个阵列；以及

M×N个致动机构的一个阵列，每一个致动机构支持在一个支持件上构成悬臂结构并包括一个第一薄膜电极、一个薄膜电致移位件、一个第二薄膜电极、一个弹性件、一个绝缘件、一个温度补偿件和一个导管；第一、二薄膜电极分别设置在薄膜电致移位件的顶部和底部上；弹性件设置在第二薄膜电极的底部；温度补偿件位于弹性件的下部；

每一个致动机构被分成一个致动部分和一个反光部，其中，致动部分包括作为反射镜并在各致动机构中作为偏压电极的第一薄膜电极的一个前部、薄膜电致移位件、作为信号电极通过导管电连接到连接端的第二薄膜电极、弹性件的前部和温度补偿件的一个部分；反光部分包括也作为反射镜的第一薄膜电极的剩余部分、弹性件的剩余部分和温度补偿件的剩余部分；每一个绝缘件通过在每一个致动机构的第一薄膜电极的前部和其剩余部分之间产生电绝缘，限定出致动部分和反光部。

2、根据权利要求1所述的阵列，其特征在于，第一薄膜电极由导电并反光的材料构成。

3、根据权利要求1所述的阵列，其特征在于，第二薄膜电极由导电材料构成。

4、根据权利要求1所述的阵列，其特征在于，构成各温度补偿件的材料的热膨胀系数与构成第一薄膜电极的材料的几乎相同。

5、根据权利要求1所述的阵列，其特征在于，构成各温度补偿件的材料与构成第一薄膜电极的材料相同。

6、根据权利要求1所述的阵列，其特征在于，构成各温度补偿件的材料的热膨胀系数与构成第二薄膜电极的材料的几乎相同。

7、根据权利要求1所述的阵列，其特征在于，构成各温度补偿件的材料与构成第二薄膜电极的材料相同。

8、根据权利要求1所述的阵列，其特征在于，第一薄膜电极与第二薄膜电极均由导电并反光的材料构成。

9、一种制造用于光学投影系统中的M×N个薄膜致动的反射镜的阵列的方法，其中M与N为整数，该方法包括下述步骤：

提供一个有源矩阵，包含一块具有M×N个连接端的一个阵列及M×N个晶体管的一个阵列的基板；

在该有源矩阵的顶部淀积一个薄膜待除层；

在薄膜待除层上形成M×N个空槽的一个阵列，各该空槽位于连接端的顶部周围；

在各空槽中构成支持件；

使一温度补偿层淀积在包括支持件的薄膜待除层的顶面上；

除去在各支持件顶部的温度补偿层部分；

在包含支持件的温度补偿层的顶部淀积一弹性层；

在各支持件中构成一个导管，该导管从弹性层的顶部延伸到一个对应的连接端的顶部；

在包含导管的弹性层的顶部淀积一个第二薄膜层和一个薄膜电致移位层；

用下列方式分别将薄膜电致移位层和第二薄膜层制成M×N个薄膜电致移位件的一个阵列和M×N个第二薄膜电极的一个阵列的图案：各薄膜电致移位件和各第二薄膜电极分别从各相应的支持件上悬臂伸出，从而使第二薄膜电极电连接到导管上并因此电连接到连接端上；各薄膜电致移位件和第二薄膜电极具有多个侧表面；

在包括各薄膜电致移位件和第二薄膜电极的侧表面的薄膜电致移位件和弹性层的顶部淀积一层第一薄膜层；

将形成在各第二薄膜电极和薄膜电致移位件的一个侧表面上的第一薄膜层部分去掉，籍此，使第一薄膜层被分隔开；

在第一薄膜层的去掉部分上形成一个绝缘件；分别将第一薄膜层、弹性层和温度补偿层制成M×N个第一薄膜电极的一个阵列、M×N个弹性件的一个阵列和M×N个温度补偿件的一个阵列的图案，籍此，使薄膜待除层暴露出来；其中各绝缘件将第一薄膜电极限定为一个前部和一个剩余部；以及

将薄膜待除层去掉，籍此，M×N个薄膜致动反射镜的阵列得以形成。

10、根据权利要求9所述的阵列，其特征在于，第一薄膜电极由导电并反光的材料构成。

11、根据权利要求9所述的阵列，其特征在于，第二薄膜电极由导电材料构成。