[发明专利]阴极射线管电子枪电极平面度的测量装置

说明书

本发明涉及阴极射线管电子枪电极平面度的测量装置，更具体地说，涉及改善了测得的平面度数据的可靠性并减少了测量平面度所需时间的用于测量阴极射线管电子枪电极平面度的装置。

阴极射线管的电子枪以这样的方式起作用，即，使多个电极排列成一条线并使从阴极发射的热电子最佳地聚焦以获得图象。

电子枪的这些电极具有带电子束流通孔的杯形结构；当电子束流通孔附近区域的平面度低时，电子束的行进轨迹发生变化。

更具体地说，构成主聚焦透镜系统的主电极必须具有高的平面度以便使电子束最佳地聚焦。

因此，在加工之后测量平面度过程中要测量电子枪电极表面的平面度。

然而，先有技术的平面度测量方法是通过把电极放在夹紧装置上用数字显示器选择多个点、在数字显示器与电极表面接触的状态下测量电极的平面度的。

但是，必须在一个表面的多个点上测量平面度，因此，这种由工人使用显示器的测量方法需要的测量时间太多。

此外，由于这种平面度测量过程是由工人手工进行的，所以，测量数据的可靠性不高。

因此，本发明是在努力解决上述问题的过程中产生的，本发明的目的是提供一种用于测量阴极射线管电子枪电极平面度的装置，该装置通过把多个电极放在一个工作台上，然后，在每个方向上移动工作台并用激光束传感器测量平面度的方法，改善了测得的平面度数据的可靠性和精度、减少了测量平面度所需的时间、按国际标准化组织(the I.S.O)的规定控制平面度、并且能够用于数据库自动化和E-CIM系统。

为了达到以上目的，本发明提供一种包含以下部分的用于测量阴极射线管电子枪电极平面度的装置：

工作台；

设置在工作台Z轴方向上以便能够在Z轴方向上移动滑块的Z方向移动装置；

设置在所述Z方向移动装置下面以便能够在X轴方向移动所述滑块的X方向移动装置；以及

设置在与所述X方向移动装置垂直的方向上以便能够在Y轴方向上移动所述滑块的Y方向移动装置；

其中，所述Z方向移动装置备有位移测量装置。

所述Z方向移动装置包括框架、安装在该框架上侧的旋转驱动马达以及由该马达的旋转力转动的丝杠，并且，一个螺母构件与所述丝杠螺纹连接，该螺母构件固定在所述滑块上。

所述框架备有为所述滑块做直线移动用的导轨，所述滑块备有导瓦。

图1是本发明实施例的用于测量阴极射线管电子枪电极平面度的装置的透视图。

图2是本发明实施例的用于测量阴极射线管电子枪电极平面度的装置的X轴方向的剖面侧视立视图。

图3是本发明实施例的用于测量阴极射线管电子枪电极平面度的装置的Y轴方向的剖面侧视立视图。

图4是表示置于本发明实施例的装置中的电极排列的视图。

下面将结合附图详细地描述本发明的实施例。

图1是表示平面度测量装置的透视图，该装置包含下面装有球形自位轮2因而可移动的工作台4，垂直地安装在工作台4上的Z方向移动装置以及安装在Z方向移动装置下面的X方向移动装置和Y方向移动装置。

所述Z方向移动装置包括安装在工作台4的一侧的框架、安装在该框架上侧的正向和反向(normal and reverse)旋转驱动马达8、以及与所述马达的主动轴连接并由此接受旋转驱动力的丝杠10，丝杠10与根据该丝的旋转方向而上升或下降的滑块12相连接。

在框架6的上端部和下端部分别构成托架14和16，其中，上托架支撑旋转驱动马达8，而下托架支撑丝杠10的下端。

滑块12装有与丝杠10螺纹连接的螺母构件18，并且，该滑块还装有配置在导轨20上的导瓦22，所述导轨20分别突出在框架6的左右表面上。

当导瓦22沿着固定的导轨20滑动时，在滑块12上下移动过程中，滑块12不会松动。

滑块12装有与它一起上升和下降的可见射线半导体型位移测量仪24。

已知的半导体激光束传感器(KEYENCE 2320)可以作为可见射线半导体型位移测量仪24。

另一方面，如图2中所示，X方向移动装置包括与旋转驱动马达26的主动轴连接并且在正反方向转动的丝杠28。

螺母构件30与丝杆28连接，因而随着丝杠的旋转方向而左右移动，此处，螺母构件固定在滑块32上，因而实质上借助丝杠28的旋转力而移动所述滑块。

为了使X方向移动装置的滑块32沿直线移动，工作台4装有导轨34，并且，该导轨与导瓦(未示出)相连接，该导瓦具有与Z方向移动装置的导瓦相同的结构。