[发明专利]在基底上淀积薄膜的装置

权利要求书

1．使用阴极溅射法在真空室(1)内在基底(10)上淀积薄膜的装置，待淀积的基底(10)可穿过真空室移动，该装置包括一个位于溅射阴极(12)和阳极(4,5)之间的挡板(8,9)，其中基底平面(11)布置在阳极(4,5)的下面，该装置还包括固定在真空室(1)的侧壁上并含有通道(6a、6b、6d、6f或7a、7b、7f、7d)的空心型材(6、7)，该空心型材与阴极平面平行并且处于阴极(12)和阳极(4、5)之间的区域，空心型材内有冷却介质和工作气体流过，空心型材(6、7)上设有垂直于通道布置的多个孔(6e、6e′；7e、7e′)，工作气体可通过该孔排入真空室(1)，其特征是，阳极(4、5)是具有L形横截面的型材导轨，其短边(4a、5a)分别靠在空心型材(6、7)上，并位于空心型材(6、7)的上面，并在该位置上用多个销钉(21、21′)、螺钉或定位块固定，这些固定件自空心型材(6、7)的上表面向上延伸，并与阳极短边(4a、5a)上的孔相配合。

2．如权利要求1所述的装置，其特征是，阳极(4、5)的短边(4a、5a)上有多个盲孔(36、36′)，该盲孔与垂直伸出的销钉(21、21′)、螺钉或定位块相配合，这些固定件均固定在每侧空心型材(6、7)的上表面。

3．如权利要求1所述的装置，其特征是，具有与空心型材(6、7)的上表面平行并呈一定间隔的固定条(24、24′)，该固定条上有一排螺纹孔，用于拧入螺钉(32、32′)，该螺钉的向下延伸的螺纹杆将阳极(4、5)短边(4a、5a)压在其位于空心型材(6、7)上的固定面上。

4．如权利要求1所述的装置，其特征是，在空心型材(6、7)和真空室侧壁(2、3)之间设有一块电绝缘的板(15、15′)，它和真空室侧壁(2、3)之间由一根用弹性材料制成的密封软管(30、31)密封，防止溅射出的微粒淀积在空心型材(6、7)附近的真空室侧壁(2、3)上。

5．如权利要求1所述的装置，其特征是，每个大致呈板状的挡板(8、9)在其朝向真空室侧壁(2、3)的一侧具有两个斜边(8′、8″以及9′、9″)，其中一个斜边(8′、9′)的端面支撑在真空室侧壁(2、3)上，另一个斜边(8″、9″)大致呈钩状，其自由端或者该端上的一个凸缘(37、37′)钩在一个固定在真空室侧壁上的板条或空心型材(38、39)上。

6．如权利要求5所述的装置，其特征是，挡板(8、9)大致呈矩形板状，其朝向阴极(12)一侧的上表面设有板条、凸缘或斜边(8″、9″)，它们与构成挡板开口的长边平行，并且和挡板平面的夹角为45°，其方向朝上指向真空室侧壁(2、3)，该斜边(8″、9″)的上部自由端具有一个或多个凸缘(37、37′)，该凸缘自斜边出发垂直向下延伸，并钩在一个或若干个固定件(40、40′)上，固定件位于板条或空心型材(38、39)上，而板条或空心型材则固定在真空室侧壁(2、3)上。

7．如上述权利要求之中任何一项所述的装置，其特征是，空心型材(6、7)具有纵向通道(6d、7d)，该纵向通道内同心地设置了一根长管或管道(6f、7f)，该管道固定在多个挡盘(43、43′)上，可沿纵向移动和定位，通过该挡盘可将纵通道(6d、7d)分割成多个独立的分段或腔室(6d、6d′以及7d、7d′)，而且通过该管道(6f、7f)可向通道输送工作气体，其中各个腔室经喷嘴(6e、6e′以及7e、7e′)与真空室(1)相连通。