[发明专利]具有活动轭形件和隐藏扭铰件的数字式空间音光调制器

权利要求书

1.一种空间光调制器，其特征在于，包括：

a)基板；

b)寻址电路组，包含靠近所述基板的第一部分和在所述基板上举起的第二部分；

c)轭形件，支撑在所述寻址电路组第一部分上；

d)至少一个扭铰件，与所述轭形件相连并支撑所述轭形件，使得所述轭形件可以偏转；以及

e)一个象素，由所述轭形件举起和支撑，所述象素位于所述举起的寻址电路第二部分上。

2.如权利要求1所限定的空间光调制器，其特征在于，包括一对所述扭铰件，沿轭形件轴向支撑所述轭形件。

3.如权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于，所述轭形件的宽度小于所述象素和所述象素叠盖所述轭形件的宽度。

4.如权利要求2所述的空间光调制器，其特征在于，所述轭形件在所述轭形件轴线的每一侧有一对末端部。

5.如权利要求4所述的空间光调制器，其特征在于，所述轭形件呈蝶形。

6.如权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于，在所述轭形件与所述寻址电路组第一部分之间形成第一间隔，在所述象素与所述寻址电路组第二部分之间形成第二间隔，所述第一间隔小于所述第二间隔。

7.如权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于，所述轭形件实质上处于与所述寻址电路组第二部分同一平面。

8.如权利要求2所述的空间光调制器，其特征在于，在所述轭形件与所述寻址电路组第一部之间形成第一对相对面，在所述象素与所述寻址电路组第二部分之间形成第二对相对面，所述第二对相对面自所述轭形件轴线横向伸出的距离要大于所述第一对相应面自所述轭形件轴线横向伸出的距离。

9.如权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于，进一步包括在所述基板上构成的偏置/复位总线，并电连接至所述象素。

10.如权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于，所述轭形件与所述扭铰件实质上在同一平面。

11.如权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于，进一步包括连接到所述寻址电路组的控制电路组，所述控制电路组向所述寻址电路组第一部分和第二部分提供寻址数据，使所述象素偏转。

12.如权利要求2的空间光调制器，其特征在于，进一步包括连接到所述寻址电路组的控制电路，所述控制电路组向所述寻址电路组第一部分之一提供寻址数据，使所述轭形件向所述被寻址的第一部分偏转。

13.如权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于，进一步包括一个连接到并支撑所述扭铰件的支撑柱。

14.如权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于，所述寻址电路组第一部分和所述第二部分彼此电连接。

15.如权利要求1所述的空间光调制器，其特征在于，所述象素是一微镜。

16.如权利要求15所述的空间光调制器，其特征在于，所述微镜呈矩形。

17.如权利要求16所述的空间光调制器，其特征在于，所述微镜相对所述轭形件取向为45°。

18.一种空间光调制器，其特征在于，包括：

a)基板；

b)寻址电路组，包括一个靠近所述基板的第一部分，以及一个位于所述第一部分所处平面之上的第二部分；

c)一个轭形件，支撑在所述寻址电路组第一部分上；

d)至少一个扭铰件，与所述轭形件相连并支撑所述轭形件，使得所述轭形件可以偏转；以及

e)一个象素，由所述轭形件举起并支撑，所述象素位予所述举起的寻址电路组第二部分上。