[发明专利]氦检漏器

说明书

本发明涉及进行密封检查或密闭检查时所用的氦检漏器。

检查管道有无泄漏时，氦检漏器是一种有效的手段。

如图3所示，该装置备有仅检测氦(He)的质量分析部ANAL、配设在对该质量分析部ANAL与被检测体EXP均能抽真空的位置上作为主泵的涡轮分子泵(TMP)1、起该TMP1的初级抽气泵作用的油旋转真空泵(RP)2，同时，在被检测体EXP与TMP1间配置检测阀TV，在TMP1与RP2之间配置阻断阀FV，进而，在被检测体EXP与RP2的直通管道上配置中间阀BV。图中，TP是用于相对装置装卸被检测体EXP的检测口。

该装置的检漏试验按下述顺序进行。首先保持中间阀BV及检测阀TV关闭，阻断阀FV开启，而启动TMP1及RP2，由此把质量分析部ANAL抽气至预定的真空度。图4中的粗线表示进行抽气的部位。其次，把被检测体连接至检测口TP，改为保持检测阀TV及阻断阀FV关闭，中间阀BV开启，如图5中粗线所示，被检测体EXP由RP2抽气至预定的真空度。然后，通过保持中间阀BV关闭，检测阀TV及阻断阀开启，构成如图6粗线所示的抽气线路，把He气喷至被检测体EXP。这时，若被检测体EXP有泄漏，He的一部分溢入质量分析部ANAL，检测与该泄漏大致成比例的He，其结果是间接测定被测验体EXP的气密度。

可是，当被检测体EXP有大量He泄漏(称为严重泄漏)的情况下，其后检漏时，不能使质量分析部ANAL内的He的本底值(零点)足够低，由此往往导致没有任何问题的良好的被检测体EXP也被判为不良产品之类的不能进行有效试验的状态。

究其原因，已探明是由于严重泄漏时，He浓度极高的空气大量吸入至作为TMP1的初级抽气泵运转的RP2中，此时He溶入RP2的油中，而且已溶入He的气泡随时自吸气口逸出，并倒流至质量分析部ANAL，使本底值上升。

为了消除这种缺陷，可以考虑用停止整个装置的运转，把RP2的油更换为新的油这种办法处理。但这样做，整个装置再次起动前的停机时间拉长，对装置的工作效率影响大，维护方面也必须化费很大费用和劳力。

本发明是着眼于上述课题而构成的，其目的在于提供一种氦检漏器，该检漏器在油旋转真空泵的油中混入大量He时，也能迅速疏散该油，由此使质量分析部的本底值迅速降低，能有效地再启动泄漏检测。

为了达到上述目的，本发明采用如下构成。

即，本发明的氦检漏器包括：只检测氦的质量分析部、对该质量分析部与被检测体均能抽真空的主泵、作为该主泵的初级抽气泵起作用的油旋转真空泵；其特征在于，在所述油旋转真空泵上备有镇气口，在所述镇气口上设置可有选择地开关的电磁阀，同时，设置当用质量分析部测定的氦测定值超过预定的门限值时，控制所述电磁阀保持一定时间开启的控制手段。

在上述构成中，若把相应于严重泄漏的值设定为门限值，则实际产生严重泄漏而油旋转真空泵内吸入大量He后，即使He溶入油中，因为质量分析部的氦测定值超过门限值，控制手段动作，控制油旋转真空泵镇气口上附带设置的电磁阀保持一定时间开启，在油旋转真空泵内导入大气，通过大气搅拌油旋转真空泵内的油，所以油中以气泡状态溶入的He通过大气的搅拌作用也会加速排出。由此，油中的He浓度急速下降，其后即使再启动泄漏检测，也因来自油旋转真空泵的He释放量显著降低，He溢入质量分析部而使本底值上升的缺陷能得到极大改善。且，根据本发明，其间，油旋转真空泵自不言而喻，就连质量分析部和高真空泵等其它装置部分的运转也不必停止，因而不会对系统的连续运转性能有大的不良影响，在严重泄漏后经短时间即可继续有效地再启动泄漏检测。

图1是本发明一实施例的回路图。

图2是上述实施例中采用的油旋转真空泵的概略剖面图。

图3是与所示图1对应的以往例子的回路图。

图4是说明图3中泄漏检测一般顺序的图。

图5是图3中泄漏检测一般顺序的图。

图6是图3中泄漏检测一般顺序的图。

图中，ANAL为质量分析部，EXP为被检测体，GBV为电磁阀，1为主泵(涡轮分子泵；TMP)，2为油旋转真空泵(RP)，4为控制手段(微机单元)，21为镇气口。

下面，参照附图说明本发明一个实施例。