[发明专利]制造灰度模版的方法

权利要求书

1、用于制造灰度模版的方法，在其中由边缘所限界并在其上叠加了灰度格(15)的图案(1)被转移到对射线敏感的基层中，其特征在于：格(15)连续地延伸到成为彼此相邻放置的图案(1)的边缘上。

2、根据权利要求1所述的方法，其特征在于：格(15)相对于图案(1)被转动。

3、根据权利要求2所述的方法，其特征在于：格(15)的连续延伸是以这样的方式获得的，即它经历了附加的细微转动。

4、根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于：格(15)的连续延伸是以这样方式获得的，即它经历了压缩或伸展。

5、根据权利要求4所述的方法，其特征在于：压缩或伸展在图案(1)的不同方向上是不同的。

6、根据权利要求1至5中一项所述的方法，其特征在于：使用一种膜作为对射线敏感的基层。

7、根据权利要求6所述的方法，其特征在于：图案(1)被转移到该膜中，以使得图案边缘与膜的边缘相重合。

8、根据权利要求1至5所述的方法，其特征在于：设置在一个空板上的覆盖层被用作对射线敏感的基层。

9、根据权利要求8所述的方法，其特征在于：该空板是圆柱形构型，覆盖层位于它的外表面。

10、根据权利要求9所述的方法，其特征在于：至少在空板的圆周方向上，图案相邻于其本身一次或多次地被这样地转移到对射线敏感的层中，即每次使相继的图案边缘相重合。

11、根据权利要求1至10中一项所述的方法，其特征在于：图案(1)是以电子方式设计的并作为灰度表(7)被存储。

12、根据权利要求1至10中一项所述的方法，其特征在于：借助母图在行和列上扫描图案(1)，以便至少将行或列的部分作为灰度表(7)存储起来。

13、根据权利要求11或12所述的方法，其特征在于：图案(1)作为两维灰度表(7)被存储。

14、根据权利要求11至13中一项所述的方法，其特征在于：

-灰度表(7)是由灰度单元组成的，灰度单元包括图案(1)的灰度值，用于在每次中分配给它的一个图象区域(4)；

-为了向其转移图案(1)，用光束(84)沿读出那些灰度单元(8)中的灰度值的路径照射对射线敏感的基层，那些灰度单元沿着通过灰度表(7)相应路径(20)放置；

-将每次从灰度单元(8)中读出的灰度值与至少一个包含在一个参考单元(46，180)中的参考灰度值相比较，该灰度值被分配给重叠在灰度表(7)或图案(1)上的格(15)的灰度单元(8)；及

-光束(84)作为比较结果的函数被开通或关闭。

15、根据权利要求14所述的方法，其特征在于：灰度单元(8)被划分成细单元(42)，及进行细单元灰度值与参考灰度值的比较。

16、根据权利要求15所述的方法，其特征在于：直到访问要被读出用于曝光对射线敏感基层的灰度单元(8)时，才进行将灰度单元(8)划分成细单元(42)。

17、根据权利要求15或16所述的方法，其特征在于：细单元(42)的灰度值作为至少一个相邻灰度单元(8)的细单元(42)的灰度值的函数或作为至少一个相邻灰度单元(8)的灰度值的函数被预先确定。

18、根据权利要求14至17中一项所述的方法，其特征在于：将每个灰度值与一序列参考灰度值相比较。

19、根据权利要求14至18中一项所述的方法，其特征在于：参考单元(46)由各个单元(44)组成，至少它们中的一些包含不同的参考灰度值。

20、根据权利要求19所述的方法，其特征在于：参考灰度值以螺线形状从参考单元(46)的边缘向其中心上升或下降。    

21、根据权利要求19所述的方法，其特征在于：参考单元(46)具有若干至少有多个各单元(44)的组，这些单元(44)在组中包括相同参考灰度值。