[发明专利]电阻器及微调电阻器的方法

说明书

本发明涉及一种电阻器的微调方法，特别涉及一种混合集成电路(IC)中的、在一种绝缘衬底上形成的印制电阻器的微调方法。

图3到图8显示了具有各种图形的槽的传统印制电阻器的平面图。在其中的每一幅图中，都有一个由丝网印刷或类似的方法在形成于绝缘衬底3上的一对电极2a和2b之间的整个面积上印刷构成的电阻器1。用微调的方法在电阻器1中形成槽41到46，以调整电阻器1的阻值。

在为了调整阻值而用微调方法形成的槽41到46中，图3所示的用微调法形成的槽41是从电阻器1的一边平行于电极2a延伸并垂直地弯曲，基本上呈L形。

以微调的方法形成的图4所示的槽42，其形状基本上与形状为L形的微调槽41相同，只是新的槽转向电阻器1的一边，基本上呈方底的J形。

图5所示的槽43是从电阻器1的一边开始的按J形用微调方法形成的。图6所示的槽44是在电极2a和2b之间从电阻器1的一边扫描切割去电阻器1的一部分而形成。

另外，图7所示的槽45用微调法形成U形，该U形的顶部是从电阻器1的一边延伸出的，该U形的宽度是从第一电极2a一侧延伸到第二电极2b的一侧边。

图8所示的槽46是通过在第一电极2a和第二电极2b之间直线地微调(狭窄切割)电阻器1的一端，同时还切割一部分电极2a和2b来形成的。

以上所述的传统微调方法具有以下的问题。

第一，如图3到5所示的L形槽41、方底的J形槽42和J形槽43都由于电涌而易于改变其阻值。

更具体地说，如图9A所示，电流密度非均匀地分布在具有L形槽的印制电阻器1中，这样，电流都集中在靠近L形槽41的弯曲部分和一个端部的D和E点。结果在电阻器受到一个电涌时，在D点或E点发生微破裂，或在D点或E点该电阻器被烧毁。这就引起了电阻器阻值的改变。例如，图3到5所示的电阻器的阻值在一个放电电涌试验前后平均变化了3.35％。

第二，虽然如图6所示，通过扫描切割而形成槽44的方法带来了好的防电涌能力，而且可以说这是一个有效的微调方法，但微调花费了相当的时间，这样就提高了生产的成本。

第三，尽管如图7所示，通过基本上微调而形成U形槽45的方法具有快速微调的好处且同时保持了图7所示的扫描切割的防电涌能力，但由于该电阻器初值的漂移而使在按U形微调的过程中微调被终止，从而可能产生了一个J形槽(与图5所示相似)。结果可能使该电阻器也会遇到上述的问题。

第四，如图8所示，在通过狭窄切割(微调电阻器1和电极2a和2b)而形成槽46的方法中，微调能快速完成，同时保持与按U形微调而形成槽45的方法相似的防电涌有力。但是，给必需的机器编程来完成对两个电极2a和2b的切割是非常困难的。该电阻器偶尔还有电极没有被完全切割，导致了电阻器的并联电连接，因此该方法可靠性差。

本发明的目的是通过提供一种微调方法而解决上述的问题，该方法带来了好的防电涌能力并在电阻器中快速而可靠地形成槽。本发明的另一个目的是提供一种具有由本发明的微调方法而形成的槽的电阻器。

为了达到上述的目的，根据本发明的一个方案，一种电阻器的微调方法，包括下列工艺步骤：

从一个电阻器的边缘上尽可能靠近第一电极处并平行于第一电极形成第一槽，该电阻器连接在绝缘衬底上的第一和第二电极；

向着第二电极并垂直于第一槽形成作为第一槽的延续部分的第二槽；其特征在于还包括下列步骤：

从电阻器的边缘上的第一点并平行于第一电极形成一条第三槽，该第一点从第一槽向第二电极移动，第三槽在平行于第一电极的方向上比第一槽长；和

向着第二电极并垂直于第三槽形成作为第三槽的延续部分的第四槽；第二槽和第四槽延伸到尽可能靠近第二电极的位置。

根据本发明的另一个方案，一种由位于第一和第二电极之间的印刷电阻器材料所构成的电阻器，其中在电阻器内配置了由一条垂直槽和一条水平槽组成的第一L形槽，其特征在于：在电阻器中还配置了由一条垂直槽和一条水平槽所组成的第二L形槽，每一条垂直槽从连接第一电极和第二电极的电阻器的一侧向其另一侧延伸并平行于第一电极，每一条水平槽从相应的垂直槽的端部向着第二电极延伸到尽可能靠近第二电极的位置，第一L形槽的垂直槽尽可能靠近第一电极，第二个L形的槽的垂直槽比第一L形的槽的垂直槽更靠近第二电极，而第二L形槽的垂直槽比第一L形槽的垂直槽长。