[发明专利]用于轴外照明的标度掩膜板

权利要求书

1.一种用于轴外照明的标度掩膜板，它包括透明基片上的具有宽度不同的多个间距的光掩蔽图形，其特征是，在宽度比具有最小宽度的间距更大的间距中以整个标度掩模板的衍射角相同或相近的方式形成多个辅助图形，这些辅助图形具有小到不足以形成图象的尺寸。

2.一种根据权利要求1的标度掩膜板，其特征是，所说辅助图形的尺寸是光源波长λ的一半到4倍。

3.一种根据权利要求1的标度掩膜板，其特征是，所说辅助图形的间距的尺寸为0.4-1.0μm。

4.一种根据权利要求1的标度掩膜板，其特征是，所说辅助图形为突出形状或点状图形。

5.一种根据权利要求1的标度掩膜板，其特征是，所说辅助图形为突出形状或点状图形，它们以排的形式形成。

6.一种根据权利要求1的标度掩膜板，其特征是，所说辅助图形是由选自相移材料，旋涂玻璃，氮化膜，TiN，固化的光刻胶膜和透明度为1-10％的半透明膜组成的组中的任何一种材料制备的，以便增加光强和保持衍射角。

7.一种根据权利要求1的标度掩膜板，其特征是，为形成所希望的衍射角，所说的标度掩膜板是接触孔掩膜，所说辅助图形在接触孔内的边缘处形成。