[发明专利]全切面结玻璃钝化的硅半导体二极管芯片及其制造方法无效
申请号: | 96107992.4 | 申请日: | 1996-06-05 |
公开(公告)号: | CN1074168C | 公开(公告)日: | 2001-10-31 |
发明(设计)人: | 戴超智;钟宇鹏;蔡辉正 | 申请(专利权)人: | 智威科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L21/329;H01L21/316;H01L21/56 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王以平 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切面 玻璃 钝化 半导体 二极管 芯片 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体二极管芯片组件,包括:
一硅半导体二极管芯片;及
一钝化玻璃护封件;
其特征在于:
该钝化玻璃护封件由玻璃粉调制的调剂烧结而成;
该半导体二极管芯片的周缘是自N电极面至P电极面,含P-N结层面,为完全切断状态;且
该钝化玻璃护封件覆盖于该半导体二极管芯片周缘的全部。
2.如权利要求1所述的半导体二极管芯片组件,其中芯片的形状为圆锥台形,方锥台形或六边锥台形。
3.如权利要求1所述的半导体二极管芯片组件,其中该芯片的切断面与其N型层的夹角约为90°。
4.如权利要求1所述的半导体二极管芯片组件,还含有一个在P电极表面的金属镀膜及一个在N电极表面的金属镀膜。
5.如权利要求4所述的半导体二极管芯片组件,其中芯片P面或N面的镀膜可以是铝镀膜、镍、银或金二次镀膜。
6.一种制造半导体二极管芯片的方法,包括:
将完成P-N结扩散的半导体二极管圆片依需要的尺寸切成单个芯片,使其P型层、P-N结及N型层裸露于切口断面;
蚀磨处理芯片的P-N结全切面,使其适合进行护封;
在其P-N结全切面部位涂上钝化玻璃护封剂;以及
对该玻璃护封剂进行烧结处理,形成护封件;
其特征在于:
该钝化玻璃护封剂由玻璃粉调制而成;
该玻璃护封件形成于芯片的裸露的P-N结及切断面的全部。
7.如权利要求6所述的方法,其中芯片的形状为圆锥台形,方锥台形或六边锥台形。
8.如权利要求6所述的方法,其中芯片的切割面与芯片N型层的夹角约为90°。
9.如权利要求6所述的方法,还包括在芯片的P面及N面各形成一个金属镀膜。
10.如权利要求9所述的方法,其中该P面或N面的镀膜可以是铝镀膜、镍、银或金二次镀膜。
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