[发明专利]功率半导体组件及其制造方法无效
申请号: | 96109993.3 | 申请日: | 1996-08-16 |
公开(公告)号: | CN1089493C | 公开(公告)日: | 2002-08-21 |
发明(设计)人: | K·发勒;T·弗雷;H·凯泽;F·施坦卢克;R·泽林格 | 申请(专利权)人: | ABB研究有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王勇,萧掬昌 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功率 半导体 组件 及其 制造 方法 | ||
1.功率半导体组件(1),具有至少一个半导体芯片(2),这个或这些芯片至少各具有两个电极,即第一主电极(4)及第二主电极(3),及这个或这些半导体芯片(2)的第一主电极(4)接触在一个基片(5)上,并具有与相应第一及第二主电极(4和3)形成电连接的第一和第二主端子(6和7),其中第一主端子(6)与基片(5)相互电连接及第二主端子(7)至少设有一个接触压件(8),这个或这些接触压件与这个或每个半导体芯片(2)的第二主电极(3)相互电连接,其特征在于:这个或每个接触压件(8)的位置相应于从这个或每个半导体芯片(2)到第二主端子(7)的距离是可调节的,及设有用于固定这个或每个接触压件(8)位置的部件(9、10;17、18)。
2.根据权利要求1所述的功率半导体组件,其特征在于:用于固定一个或每个接触压件(8)的部件包括两个焊料层(9、10),其中一侧一个焊料层在一个或每个半导体芯片(2)和一个或每个接触压件(8)之间,及另一侧一个焊料层在一个或每个接触压件(8)及第二主端子(7)中接收一个或每个接触压件的槽之间。
3.根据权利要求1所述的功率半导体组件,其特征在于:用于固定一个或每个接触压件(8)的部件包括用于每个接触压件(8)的一个弹簧(18),该弹簧被安置在第二主端子(7)中的一个接收一个或每个接触压件的槽中。
4.根据权利要求3所述的功率半导体组件,其特征在于:在接触压件(8)及槽的侧壁之间设有导电的滑动触簧(17)。
5.用于制造根据权利要求2所述的功率半导体组件的方法,其特征在于:
在第一工艺步骤中将一个或每个半导体芯片(2)焊在基片(5)上;
将基片(5)放置在至少设有一个槽并在每槽中放入一个接触压件(8)的第二主端子(7)的适当位置上并相对第二端子(7)进行固定,其中一侧面在一个或每个接触压件(8)及一个或每个半导体芯片(2)之间,另一侧在每个槽中一个或每个接触压件(8)及主端子(7)之间各设有一个焊料层(10或9);
接着将半导体组件以第二主端子(7)向上地放在焊接炉中熔焊。
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