[发明专利]触发点燃CVD－等离子体的方法及装置无效
| 申请号： | 96112052.5 | 申请日： | 1992-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1135910C | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | H·克吕梅尔;E·默森;V·帕凯;H·福格特;G·魏德曼 | 申请（专利权）人： | 肖特玻璃制造厂 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/513 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 董巍;张志醒 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 触发 点燃 cvd 等离子体 方法 装置 | ||
【说明书】：
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