[发明专利]离子注入机和采用此离子注入机的离子注入方法

权利要求书

1.一种离子注入机，包括：

离子分离器；

质量分析器，用于偏转由所述的离子分离器导入的离子，无论离子的带电状态如何，它都能按照预定方向偏转离子；以及

极性转换器，用于按照所述离子的带电状态改变所述质量分析器中磁场的通量方向。

2.如权利要求1所述的离子注入机，其中，所述极性转换器具有改变流经电磁铁的电流方向的装置，该电磁铁在所述的质量分析器中产生磁场。

3.如权利要求2所述的离子注入机，其中所述装置是继电器。

4.如权利要求2所述的离子注入机，其中所述装置是电动机。

5.一种离子注入方法，包括如下步骤：

(a)产生粒子；

(b)无论所述粒子带电状态如何，按照预定方向偏转所述离子；以及

(c)加速并聚焦所述被偏转的离子。

6.如权利要求5所述的离子注入方法，其中，所述步骤(b)采用了质量分析器，它具有用于按照所述离子的带电状态改变磁场通量方向的装置。

7.如权利要求6所述的离子注入方法，其中，所述装置是具有电动机的极性转换器，该电动机是作为改变流经电磁铁的电流方向的主要装置，电磁铁用来在所述质量分析器中产生磁场。

8.如权利要求6中所述的离子注入方法，其中，所述主要装置是继电器。