[发明专利]一种高速气相生长金刚石的方法无效
| 申请号： | 96115136.6 | 申请日： | 1996-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1159491A | 公开（公告）日： | 1997-09-17 |
| 发明（设计）人： | 闻立时;黄荣芳;于杰;陈广超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/04 |
| 代理公司： | 中国科学院沈阳专利事务所 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高速 相生 金刚石 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高速气相生长金刚石的方法，采用热丝化学气相沉积技术，其特征在于：反应全流程在封闭空间内进行，反应气均匀地通过反应区，气体质量流量通量为100-200SCCM/cm2，反应区温度保持在2000-2600℃，反应后气体及时排出。
2.一种专用于权利要求1所述高速气相生长金刚石方法的设备，包括真空系统、反应室、电控等部分，其特征在于：整个反应室为全封闭管道结构，顶端设反应气入口(2)，底端设刺叭排气管道(9)；
紧接反应气入口(2)的为气体分配器(1)，其上部系塔状结构，内装2-10个多孔节流隔板(3)；下部为筒状，平行阵列的热丝加热器(4)设置在筒体的底部；
反应室为等截面的限流管道，将辅助加热丝包容在其中。
3.按权利要求2所述高速气相生长金刚石方法的设备，其特征在于基片与加热器间距为5-20mm范围，加热丝之间距为5-12mm。
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